[实用新型]一种定位精度高的超声悬浮导轨

权利要求书

1.一种超声悬浮导轨，其特征在于：包括压电换能器(3)、导轨(2)和换能器支架(1)；换能器支架(1)为环形结构，换能器支架(1)套装在导轨(2)外，换能器支架(1)内周面和导轨(2)外周之间具有间隙；换能器支架(1)的上下和两侧四周均安装有多个沿导轨(2)方向不同位置布置的压电换能器(3)，换能器支架(1)侧壁开有从外部连通到间隙的通孔，通孔中安装一个压电换能器(3)；所述的压电换能器(3)包括陶瓷压电片(5)、后端盖(4)和变幅杆(6)，后端盖(4)固定于通孔朝向外侧的一端内，变幅杆(6)尾端经陶瓷压电片(5)和后端盖(4)固接，变幅杆(6)前端端面开设雪花形凹槽，变幅杆(6)前端作为压电换能器(3)末端，变幅杆(6)采用铝材料制成。

2.根据权利要求1所述的一种超声悬浮导轨，其特征在于：所述的后端盖(4)尾端设有外凸缘，后端盖(4)的外凸缘通过螺栓固定于通孔朝向外侧的孔端面上，变幅杆(6)尾端和陶瓷压电片(5)的一端固接，陶瓷压电片(5)的另一端和后端盖(4)前端固接。

3.根据权利要求1所述的一种超声悬浮导轨，其特征在于：所述的导轨(2)的底面为非平整面，导轨(2)除了底面的三侧面均为平整面。

4.根据权利要求3所述的一种超声悬浮导轨，其特征在于：所述的导轨(2)的底面为沿导轨(2)延伸的折线形表面。

5.根据权利要求1所述的一种超声悬浮导轨，其特征在于：所述的换能器支架(1)截面为四角有倒角的正方形。

6.根据权利要求1所述的一种超声悬浮导轨，其特征在于：所述的换能器支架(1)的通孔内有用于固定压电换能器(3)的轴肩，通孔内表面涂有用于压电换能器(3)隔绝通孔的绝缘材料。

7.根据权利要求1所述的一种超声悬浮导轨，其特征在于：所述的后端盖(4)外周表面及变幅杆(6)后表面涂有绝缘材料。