[实用新型]一种自动匀胶机有效
申请号: | 201920063295.5 | 申请日: | 2019-01-15 |
公开(公告)号: | CN209829450U | 公开(公告)日: | 2019-12-24 |
发明(设计)人: | 时琦 | 申请(专利权)人: | 高密飞仕龙达电子有限公司 |
主分类号: | B05C11/08 | 分类号: | B05C11/08;B05C13/02;B05C5/02 |
代理公司: | 37221 济南圣达知识产权代理有限公司 | 代理人: | 孟雪 |
地址: | 261500 山东省潍坊市*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 旋转托盘 硅片 喷嘴 光刻胶 第一驱动装置 电动推杆 抓取组件 机械手 控制器 横杆 导轨 喷胶 本实用新型 自动匀胶机 管道连接 硅片放置 轨道移动 水平设置 匀胶装置 喷嘴喷 轨道 侧方 和匀 胶桶 盛放 涂覆 转动 扩散 | ||
1.一种自动匀胶机,其特征是,包括旋转托盘,所述旋转托盘连接有带动所述旋转托盘转动的第一驱动装置,所述旋转托盘的上方设有喷嘴,所述喷嘴连接有喷胶管道,所述喷胶管道连接有胶桶,所述喷嘴的侧方设有竖直设置的轨道,所述喷嘴可沿所述轨道移动,所述轨道的顶部连接有横杆,所述旋转托盘与所述横杆之间设有两条水平设置的导轨,每条所述导轨上均设有一个可沿所述导轨移动的抓取组件,所述抓取组件包括电动推杆和设于所述电动推杆底部的机械手;所述旋转托盘的两侧分别设有硅片盛放台和匀胶后硅片收取台;所述第一驱动装置连接有控制器,所述控制器分别与所述电动推杆和所述机械手连接。
2.根据权利要求1所述的一种自动匀胶机,其特征是,所述第一驱动装置设为伺服电机。
3.根据权利要求1所述的一种自动匀胶机,其特征是,所述喷嘴内分别设有电磁阀和流量检测装置,所述电磁阀和所述流量检测装置均与所述控制器连接。
4.根据权利要求1所述的一种自动匀胶机,其特征是,所述喷嘴与所述轨道之间设有第一滑车,所述第一滑车与所述轨道滑动连接,所述第一滑车与所述喷嘴固定连接,所述第一滑车上设有驱动所述第一滑车沿所述轨道移动的第二驱动装置,所述第二驱动装置与所述控制器连接。
5.根据权利要求1所述的一种自动匀胶机,其特征是,所述横杆上、位于所述旋转托盘的上方设有光电开关,所述光电开关与所述控制器连接。
6.根据权利要求1所述的一种自动匀胶机,其特征是,所述抓取组件与所述导轨之间设有第二滑车,所述第二滑车与所述导轨滑动连接,所述第二滑车与所述抓取组件固定连接,所述第二滑车上设有驱动第二滑车沿所述导轨移动的第三驱动装置,所述第三驱动装置与所述控制器连接。
7.根据权利要求1所述的一种自动匀胶机,其特征是,所述机械手设为与硅片侧边匹配的弧形爪,所述弧形爪可沿水平方向移动,两根所述导轨上的所述弧形爪对称设置。
8.根据权利要求1所述的一种自动匀胶机,其特征是,所述旋转托盘上设有若干通孔,所述通孔底部连通有真空气缸,所述真空气缸与所述控制器连接。
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