[实用新型]一种自动上浆抛光机

权利要求书

1.一种自动上浆抛光机，其特征是，包括横杆，所述横杆上依次设有滴浆组件、匀浆组件和抛光组件，所述横杆下方设有第一轨道，所述第一轨道上设有可沿所述第一轨道滑动的抓取组件，所述滴浆组件和所述抛光组件的下方均设有载物台，所述匀浆组件和所述抛光组件之间设有烘烤组件。

2.根据权利要求1所述的一种自动上浆抛光机，其特征是，所述滴浆组件包括喷嘴，所述喷嘴连接有喷浆管道，所述喷浆管道连接有浆桶，所述喷嘴的侧方设有竖直设置的第二轨道，所述喷嘴可沿所述第二轨道移动。

3.根据权利要求2所述的一种自动上浆抛光机，其特征是，所述喷嘴与所述第二轨道之间设有第一滑车，所述第一滑车与所述第二轨道滑动连接，所述第一滑车与所述喷嘴固定连接，所述第一滑车上设有驱动所述第一滑车沿所述第二轨道移动的第一驱动装置。

4.根据权利要求2所述的一种自动上浆抛光机，其特征是，所述喷嘴内设有流量检测装置。

5.根据权利要求1所述的一种自动上浆抛光机，其特征是，所述匀浆组件包括固定在所述横杆上的第二驱动装置，所述第二驱动装置的转动轴的端部设有第一电动推杆，所述第一电动推杆底部设有刮板。

6.根据权利要求1所述的一种自动上浆抛光机，其特征是，所述抛光组件包括固定在所述横杆上的第三驱动装置，所述第三驱动装置的转动轴的端部设有第二电动推杆，所述第二电动推杆底部设有刮刀。

7.根据权利要求1所述的一种自动上浆抛光机，其特征是，所述第一轨道包括两条在一平面内平行设置的两条导轨，每条导轨上均设有一所述抓取组件，所述抓取组件包括第三电动推杆和设于所述第三电动推杆底部的机械手，所述第三电动推杆与所述导轨之间设有第二滑车，所述第二滑车与所述导轨滑动连接，所述第二滑车与所述抓取组件固定连接，所述第二滑车上设有驱动第二滑车沿所述导轨移动的第四驱动装置。

8.根据权利要求7所述的一种自动上浆抛光机，其特征是，所述机械手设为与硅片的侧边匹配的弧形爪，所述弧形爪可沿水平方向移动，两根所述导轨上的所述弧形爪对称设置。

9.根据权利要求1所述的一种自动上浆抛光机，其特征是，所述载物台的台面上设有若干通孔，所述通孔底部连通有真空气缸。