[实用新型]一种制作晶圆检测探针卡的飞针取像设备

权利要求书

1.一种制作晶圆检测探针卡的飞针取像设备，其特征在于，包括设备箱，所述设备箱的内部包括取像区和设于所述取像区下方的电气区，所述取像区和所述电气区之间设有操作板并通过所述操作板分隔；

所述操作板顶面设有印制电路板区和两个互相平行的Y轴取像座，所述印制电路板区设于所述操作板的中部，两个所述Y轴取像座分别设于所述印制电路板区的两侧，两个所述Y轴取像座的顶部之间搭设有X轴取像座，所述X轴取像座底部的两端分别设有X轴驱动座，所述X轴驱动座的底部与所述Y轴取像座的顶部滑动连接，所述X轴取像座的一侧设有Z轴取像座，所述Z轴取像座的侧面与所述X轴取像座的顶部之间设有Z轴驱动座，所述Z轴驱动座的底部与所述X轴取像座的顶部滑动连接，所述Z轴驱动座的侧面与所述Z轴取像座的侧面滑动连接；

所述X轴取像座、所述Y轴取像座以及所述Z轴取像座均配置有相机，所述相机内配置有电荷耦合器件图像传感器。

2.根据权利要求1所述的一种制作晶圆检测探针卡的飞针取像设备，其特征在于，所述X轴取像座、所述Y轴取像座以及所述Z轴取像座朝向所述印制电路板的一侧均设有静电风扇和若干光灯，所述静电风扇的风向指向所述印制电路板区。

3.根据权利要求1所述的一种制作晶圆检测探针卡的飞针取像设备，其特征在于，所述X轴驱动座的底部、所述Z轴驱动座的底部以及所述Z轴驱动座的与所述Z轴取像座连接的底面均设有驱动滑块，所述驱动滑块分别配置有驱动电机，所述Y轴取像座的顶面、所述X轴取像座的顶面和所述Z轴取像座的侧面均设有与所述驱动滑块匹配的滑轨。

4.根据权利要求2所述的一种制作晶圆检测探针卡的飞针取像设备，其特征在于，所述光灯设有亮度调节器。

5.根据权利要求1所述的一种制作晶圆检测探针卡的飞针取像设备，其特征在于，所述设备箱包括箱体本体，所述设备箱位于所述操作板上方的箱体本体部分为透明钢化玻璃箱体。

6.根据权利要求1所述的一种制作晶圆检测探针卡的飞针取像设备，其特征在于，所述相机配设有图像存储卡，所述相机为500万像素的黑白相机。