[实用新型]一种高温型气体质量流量控制器用传感器

权利要求书

1.一种高温型气体质量流量控制器用传感器，包括阀体(1)，其特征在于：所述阀体(1)的一侧端面设置有第一气路接口(11)，所述阀体(1)的另一侧端面设置有第二气路接口(12)，所述阀体(1)的上表面设置有传感器固定板(13)和流量调节阀固定板(14)，所述流量调节阀固定板(14)位于传感器固定板(13)的一侧，所述传感器固定板(13)和流量调节阀固定板(14)均通过螺栓安装在阀体(1)的上表面上，所述传感器固定板(13)上设置有传感器(2)，所述传感器(2)通过线缆(32)与控制电路板(3)电连接，所述控制电路板(3)位于传感器(2)的一侧且固定安装在阀体(1)上，所述控制电路板(3)的上端设置有用户连接接头(31)，所述流量调节阀固定板(14)上设置有流量调节阀(141)，所述流量调节阀(141)位于传感器(2)的一侧；

所述传感器(2)包括上壳体(21)、下壳体(22)、第一气体接头(23)、第二气体接头(24)、第一连接管体(25)、第二连接管体(26)、毛细管(27)、热敏电阻丝(28)和精密电阻(29)，所述下壳体(22)位于传感器固定板(13)的上表面的中端，所述下壳体(22)的上表面设置有上壳体(21)，所述下壳体(22)的一侧设置有第一气体接头(23)，所述下壳体(22)的另一侧设置有第二气体接头(24)，所述第一气体接头(23)和第二气体接头(24)均穿过传感器固定板(13)与阀体(1)连接，所述第一气体接头(23)通过第一连接管体(25)与毛细管(27)的一端连接，所述第二气体接头(24)通过第二连接管体(26)与毛细管(27)的另一端连接，所述毛细管(27)位于上壳体(21)和下壳体(22)的内侧，所述毛细管(27)上缠绕有热敏电阻丝(28)和精密电阻(29)，所述精密电阻(29)位于热敏电阻丝(28)的一侧。

2.根据权利要求1所述的一种高温型气体质量流量控制器用传感器，其特征在于：所述上壳体(21)和下壳体(22)通过螺栓连接。

3.根据权利要求1所述的一种高温型气体质量流量控制器用传感器，其特征在于：所述毛细管(27)为一种不锈钢材质制成的构件。

4.根据权利要求1所述的一种高温型气体质量流量控制器用传感器，其特征在于：所述上壳体(21)和下壳体(22)均为一种不锈钢材质制成的构件。

5.根据权利要求1所述的一种高温型气体质量流量控制器用传感器，其特征在于：所述上壳体(21)的下端开设有供线缆(32)贯穿的条形通孔(211)。

6.根据权利要求1所述的一种高温型气体质量流量控制器用传感器，其特征在于：所述下壳体(22)的两侧端面均开设有分别供第一连接管体(25)和第二连接管体(26)贯穿的圆弧形通孔(221)。