[实用新型]一种筒件的真空镀膜夹具

说明书

本实用新型公开了一种筒件的真空镀膜夹具，其技术方案要点是：包括固定在真空箱体顶部的第一伺服电机，还包括：转动连接在所述真空箱体的内部的第一固定杆，所述第一伺服电机驱动所述第一固定杆转动；铰接在所述第一固定杆底端的第一固定盘，所述第一固定杆上铰接有气缸的缸体，所述气缸的活塞杆端部铰接在第一固定盘上；滑移连接在所述第一固定盘下方的第二固定盘，所述第一固定盘上固定有第二伺服电机，所述第二伺服电机的电机轴端部连接有螺杆，所述螺杆与所述第二固定盘之间螺纹连接；筒件的真空镀膜夹具能够改变中空镀膜过程中筒件的位置和角度，使得其外壁膜层涂镀的更加均匀，利用固定部可以将筒件牢靠的固定在装置上。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜领域，特别涉及一种筒件的真空镀膜夹具。

背景技术

真空镀膜是一种产生薄膜材料的技术。在真空沉积腔室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。在真空镀膜过程中，需要用夹具对工件进行稳定夹持，以保证镀膜完整性。

现有公开号为CN208151475U的中国专利，其公开了一种立式圆柱真空镀膜夹具，其包括下基座、导向筒、固定板、上基座、导套和拉杆；下基座、固定板和上基座均开设有轴向通孔，下基座的顶面和固定板的底面上分别设有凸台，拉杆由一根横杆和两根竖杆构成，在固定板和上基座的边缘处对称开设有插孔，上基座上设置有导套。

上述的这种立式圆柱真空镀膜夹具虽然操作方便，一次性可以夹持多个工件，但是由于筒件其具有环形的外壁，因此在真空镀膜的过程中环形的外壁容易发生镀膜不均的情况，因此需要对其进行改进，使得夹具能够调整工件的位置和角度，以增大镀膜的均匀性。

实用新型内容

针对背景技术中提到的问题，本实用新型的目的是提供一种筒件的真空镀膜夹具，以解决背景技术中提到的问题。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种筒件的真空镀膜夹具，包括固定在真空箱体顶部的第一伺服电机，还包括：

转动连接在所述真空箱体的内部的第一固定杆，所述第一伺服电机驱动所述第一固定杆转动；

铰接在所述第一固定杆底端的第一固定盘，所述第一固定杆上铰接有气缸的缸体，所述气缸的活塞杆端部铰接在第一固定盘上；

滑移连接在所述第一固定盘下方的第二固定盘，所述第一固定盘上固定有第二伺服电机，所述第二伺服电机的电机轴端部连接有螺杆，所述螺杆与所述第二固定盘之间螺纹连接，所述第二固定盘在靠近所述第一固定盘的一面固定有导向杆，所述第一固定盘上开设有供所述导向杆穿过的导向孔；

连接在所述第二固定盘下方的支撑杆，所述支撑杆上设置有若干组用于固定筒件的固定部。

通过采用上述技术方案，筒件的真空镀膜夹具能够改变中空镀膜过程中筒件的位置和角度，使得其外壁膜层涂镀的更加均匀，利用固定部可以将筒件牢靠的固定在装置上，当真空镀膜的过程中需要调节筒件的位置和角度时，操作者可以通过启动第一伺服电机带动第一固定盘转动，能够带动筒件转动，启动第一固定盘上的第二伺服电机将带动第二固定盘滑动，能够调节筒件的高度，启动气缸能够带动铰接的第一固定盘转动一个角度，能够改变筒件的角度。

较佳的，所述固定部包括第三固定杆、第一弧形板、第二弧形板和若干个第一弹簧，所述第三固定杆固定在所述支撑杆上，所述第一弧形板固定在所述第三固定杆的端部，所述第二弧形板通过若干个所述第一弹簧连接在所述第一弧形板上，所述第一弧形板和所述第二弧形板均具有抵触筒件内壁的弧形面。

通过采用上述技术方案，筒件可以套在第一弧形板和第二弧形板的外部，在第一弹簧的弹力作用下，第一弧形板和第二弧形板之间有相互分离的力，能够将筒件卡住固定，较为可靠。

较佳的，所述第一弧形板和所述第二弧形板上的所述弧形面上均具有一层弹性垫。