[实用新型]一种电子束扫描测量仪的交换手臂有效
| 申请号： | 201920069194.9 | 申请日： | 2019-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN209401609U | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 相宇阳 | 申请（专利权）人： | 无锡卓海科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 冯智文 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 手臂 电子束扫描 连接臂 焊接固定 螺栓孔 测量 交换 本实用新型 测量仪设备 尺寸晶片 防滑胶垫 拐角位置 晶片滑动 晶片移动 卡接固定 上等距离 移动过程 通气孔 移位 贯穿 检测 | ||
【权利要求书】：
1.一种电子束扫描测量仪的交换手臂，包括手臂根部(1)、螺栓孔(2)、连接臂(3)、凹槽(4)和手臂端部(5)，其特征在于，所述手臂根部(1)上四个拐角位置处开设有螺栓孔(2)，手臂根部(1)的一侧焊接固定有连接臂(3)，连接臂(3)的一侧焊接固定有手臂端部(5)，手臂端部(5)上等距离开设有凹槽(4)，所述凹槽(4)的内部卡接固定有防滑胶垫(6)，所述凹槽(4)的底部开设有贯穿手臂端部(5)背部的通气孔(7)。
2.根据权利要求1所述的一种电子束扫描测量仪的交换手臂，其特征在于，所述手臂根部(1)设置的螺栓孔(2)不少于四个。
3.根据权利要求1所述的一种电子束扫描测量仪的交换手臂，其特征在于，所述手臂端部(5)设置的凹槽(4)不少于三个。
4.根据权利要求1所述的一种电子束扫描测量仪的交换手臂，其特征在于，所述连接臂(3)的宽度小于手臂根部(1)和手臂端部(5)的宽度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
