[实用新型]一种24源连续有机材料蒸镀装备

权利要求书

1.一种24源连续有机材料蒸镀装备，其特征在于，包括设备框架(21)，所述设备框架(21)的上端安装有真空舱(16)与触控电脑(11)，且触控电脑(11)位于真空舱(16)一侧边缘位置，所述设备框架(21)的前端安装有分子泵控制器(12)，所述真空舱(16)两侧对称安装有分子泵(10)，所述真空舱(16)的内部底端安装有挡板(3)与电极(2)，所述电极(2)位于挡板(3)的底端两侧，所述挡板(3)上开设有蒸镀源选择孔(4)，所述挡板(3)的底端中间位置连接有一号电机(1)，且一号电机(1)位于设备框架(21)内，所述挡板(3)的正上方安装有上基板(5)，贯穿真空舱(16)顶部左侧位置连接有膜厚仪探头(6)，且膜厚仪探头(6)伸入至上基板(5)表面，贯穿所述真空舱(16)顶部右侧位置安装有真空规(8)，所述分子泵(10)上安装有插板阀(9)，两组所述插板阀(9)关于真空舱(16)对称设置；

所述真空舱(16)后端上安装有活动后舱门(13)，所述真空舱(16)前端上活动安装有前舱门(17)，所述真空舱(16)内部中间位置分布有蒸镀源(15)，所述真空舱(16)一侧开设有备用接口(14)。

2.根据权利要求1所述的一种24源连续有机材料蒸镀装备,其特征在于，所述真空舱(16)的正上方安装有二号电机(7)，所述二号电机(7)自上而下依次连接有联轴器、磁流体并贯穿真空舱(16)顶部中间位置连接有上加热板(18)，所述上基板(5)通过二号电机(7)配合上加热板(18)旋转。

3.根据权利要求1所述的一种24源连续有机材料蒸镀装备,其特征在于，所述真空舱(16)的上端内壁上安装有O型圈及卡箍，且电极(2)与真空规(8)均通过O型圈及卡箍与真空舱(16)顶部密封连接。

4.根据权利要求1所述的一种24源连续有机材料蒸镀装备,其特征在于，所设备框架(21)的背部安装有膜厚仪控制器，且膜厚仪探头(6)与膜厚仪控制器电性连接，所述触控电脑(11)的输出端与膜厚仪控制器、真空规(8)、分子泵控制器(12)及真空舱(16)电性连接。

5.根据权利要求1所述的一种24源连续有机材料蒸镀装备,其特征在于，所述挡板(3)的正下方安装有下基板(19)，下基板(19)上设置有24组蒸镀钼舟，且24组蒸镀钼舟上放置有待蒸镀材料，所述挡板(3)的底端安装有下加热板(20)，且挡板(3)及下加热板(20)通过电极(2)与真空舱(16)的底部连接。

6.根据权利要求1所述的一种24源连续有机材料蒸镀装备,其特征在于，所述真空舱(16)内安装有高真空机组，所述上基板(5)的上端安装有上加热板(18)。

7.根据权利要求1所述的一种24源连续有机材料蒸镀装备,其特征在于，贯穿所述分子泵(10)的内部且靠近真空舱(16)一侧设置有真空管路，所述插板阀(9)与真空管路配合。