[实用新型]一种等离子体增强碳纳米管生长设备有效
| 申请号： | 201920077387.9 | 申请日： | 2019-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN209507591U | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 孔令杰;吴克松;李明;李晓丽;李冬霆 | 申请（专利权）人： | 合肥百思新材料研究院有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/164 | 分类号： | C01B32/164 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 胡剑辉 |
| 地址： | 238000 安徽省合肥市巢*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 设备框架 真空法兰 石英管 预热炉 加热炉 射频电源 滑轨 进气口 等离子体增强 碳纳米管生长 触摸控制 抽气口 恒定 本实用新型 屏幕 射频控制 水平设置 碳纳米管 直径可控 滑动 台面 生长 贯穿 | ||
1.一种等离子体增强碳纳米管生长设备，其特征在于，包括射频控制仪(1)、进气口(2)、线圈(3)、预热炉(4)、加热炉(5)、石英管(6)、触摸控制屏幕(7)、抽气口(8)、滑轨(9)、丝杆(10)、电机(11)、气体控制单元(12)、设备框架(13)和射频电源(14)，所述设备框架(13)的顶部台面上通过两支座固定有石英管(6)，所述石英管(6)的一端与真空法兰连接，真空法兰上设置有进气口(2)，且石英管(6)依次贯穿射频电源(14)、预热炉(4)和加热炉(5)，所述射频电源(14)、预热炉(4)和加热炉(5)均设置在设备框架(13)顶部，所述石英管(6)的另一端与真空法兰连接，真空法兰上设置有抽气口(8)，所述设备框架(13)顶部台面上水平设置有滑轨(9)，预热炉(4)放置在滑轨(9)上滑动，所述设备框架(13)的顶部台面上固定安装有触摸控制屏幕(7)，所述设备框架(13)的内部安装有电机(11)，所述电机(11)驱动设备框架(13)顶部台面上设置的丝杆(10)转动，所述丝杆(10)驱动加热炉(5)移动；所述设备框架(13)的内部安装有射频控制仪(1)和气体控制单元(12)。
2.根据权利要求1所述的一种等离子体增强碳纳米管生长设备,其特征在于，催化剂源放置在预热炉(4)内部中间位置。
3.根据权利要求1所述的一种等离子体增强碳纳米管生长设备,其特征在于，所述射频电源(14)的内部设置有线圈(3)。
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