[实用新型]一种射频等离子刻蚀用硅片固定装置

说明书

本实用新型公开了一种射频等离子刻蚀用硅片固定装置，涉及硅片加工设备技术领域，包括伸缩套筒、伸缩杆、转体、压紧部、承载台。伸缩套筒具有伸缩空间。伸缩杆具有齿条，齿条设置在伸缩空间中。转体具有齿轮，齿轮啮合齿条，齿条位于齿轮的相对位置。本实用新型采用手动转动转体以达到控制伸缩杆同步伸缩，避免了采用液缸、气缸、电缸等自动化设备因各种因素(详情请参照背景技术)造成伸缩杆相对移动的距离就存在不可控，需要反复尝试驱动伸缩杆相对的距离达到适应各种规格硅片。之后将硅片放入到承载台上，再用压紧部对硅片进行固定。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工设备技术领域，特别涉及一种射频等离子刻蚀用硅片固定装置。

背景技术

晶体硅材料是最主要的光伏材料，在晶体硅太阳电池的生产过程中，需要根据工艺加工的顺序依次经过制绒、高温扩散和刻蚀等加工工艺。

在上述工艺加工过程中，都需要将硅片进行固定，而现有的硅片放置固定机构结构复杂且操作麻烦，不能将多种尺寸规格的硅片平稳准确牢固的放置。

针对上述问题，实用新型一种硅片放置固定机构，如公告号CN 106298619 B的中国专利，其中包括：平移套筒、平移板、平移液压缸。平移套筒两侧分别设置有平移套筒，平移液压缸两侧输出端分别与平移板固定连接。利用平移液压缸同步驱动两块平移板，使得两块平移板能够根据硅片的尺寸规格水平准确的同步相向移动，达到适应多种尺寸规格硅片的目的。但是采用液压缸进行同步驱动平移板会出现问题，第一，液压驱动以液压油为工作介质，在相对运动表面间不可避免的要有泄露，同时油液也不是绝对不可压缩的，因此在进行驱动平移板时平移板的相对移动的距离可能存在不可控(工作人员需要反复适应伸缩杆的伸缩速度)，需要反复尝试驱动平移板的距离达到适应各种规格硅片的目的；第二，液压驱动的油液受温度影响，由于油的粘度随温度的改变而改变，故同样在进行驱动平移板时平移板的相对移动的距离可能存在不可控，需要反复尝试驱动平移板的距离达到适应各种规格硅片的目的；第三，液压驱动的油液容易污染，油液污染后，会影响系统工作的可靠性，故同样在进行驱动平移板时平移板的相对移动的距离可能存在不可控，需要反复尝试驱动平移板的距离达到适应各种规格硅片的目的。如采用气缸进行同步驱动平移板，由于空气具有压缩性，气缸的动作速度易受载荷的变化而变化，在进行驱动平移板时平移板的相对移动的距离就存在不可控，需要反复尝试驱动平移板的距离达到适应各种规格硅片的目的。如采用电缸进行同步驱动平移板，这种方式是电机通过减速机来驱动铜螺母的，在使用过程中不可避免的会增加螺母的螺纹壁面的磨损，从而导致传动效率低下，在技术上也会比较难把握驱动平移板时控制平移板的相对距离，故需要反复尝试驱动平移板的距离达到适应各种规格硅片的目的。

实用新型内容

本实用新型目的之一是解决现有技术中需要反复尝试控制硅片放置固定机构的相对距离以达到适应各种规格硅片的问题。

本实用新型目的之二是提供一种硅片固定方法。

为达到上述目的之一，本实用新型采用以下技术方案：一种射频等离子刻蚀用硅片固定装置，其中，包括：伸缩套筒，伸缩套筒具有伸缩空间；伸缩杆，伸缩杆具有齿条，齿条具有齿槽，齿条设置在伸缩空间中；转体，转体具有齿轮，齿轮啮合齿条，齿条位于齿轮的相对位置；推送装置，推送装置具有驱动端；固定部，固定部一端连接推送装置的驱动端，固定部另一端连接伸缩杆；施力部，施力部活动连接伸缩杆，推送装置连接施力部的一端；装夹部，施力部的另一端驱动装夹部进行运动；压紧部，压紧部连接装夹部；承载台，承载台具有摆放平台，承载台连接伸缩杆，承载台位于压紧部相对位置。

在上述技术方案中，本实用新型实施例首先根据硅片的尺寸规格，转动转体，转体的齿轮驱动齿条进行同步移动，促使伸缩杆贴合伸缩套筒的伸缩空间的侧壁进行伸缩移动，进一步驱动伸缩杆朝着相对方向进行同步稳定的伸缩移动；之后将硅片放在伸缩套筒与承载台上；最后启动推送装置，推送装置推动施力部进行旋转，施力部对装夹部进行旋转施力，促使装夹部的压紧部压紧硅片进行固定。