[实用新型]一种大型真空镀膜连续线腔体

说明书

本实用新型公开了一种大型真空镀膜连续线腔体，包括进样室；中间阀门；第一缓冲室；镀膜室；第二缓冲室；在进样室的一端设置第一阀门；在进样室的另一端与中间阀门的一端进行连接；中间阀门的中间设置密封阀板；在中间阀门的另一端连接第一缓冲室的一端，在第一缓冲室的另一端连接镀膜室的一端；镀膜室的另一端连接第二缓冲室的一端，第二缓冲室设置第二阀门；在本实用新型中的技术效果在于，大型真空镀膜连续线腔体能够被应用于真空镀膜连续生产，满足真空镀膜连续生产对于镀膜腔体的要求。

技术领域

本实用新型涉及大型真空镀膜设备，尤其涉及一种大型真空镀膜连续线腔体。

背景技术

在现有的真空镀膜设备中均采用单台设备装置进行生产，在现有的单台设备中都是采用单台的腔体，进行生产，生产效率低下，连续生产需要研制大型真空镀膜连续线腔体；如果要实现真空镀膜连续生产，就需要真空镀膜连续线腔体，在现有的技术中，都是单台腔体为主。为了实现连续生产，需要真空镀膜连续线腔体。

实用新型内容

本实用新型的目的是根据上述现有技术的不足之处，本实用新型实现了一种大型真空镀膜连续线腔体，其特征在于，包括进样室；中间阀门；第一缓冲室；镀膜室；第二缓冲室；在所述的进样室的一端设置第一阀门；在所述的进样室的另一端与中间阀门的一端进行连接；所述的中间阀门的中间设置密封阀板；在所述的中间阀门的另一端连接第一缓冲室的一端，在所述的第一缓冲室的另一端连接镀膜室的一端；所述的镀膜室的另一端连接第二缓冲室的一端，所述的第二缓冲室设置第二阀门。

进一步；所述的进样室的前侧设置第一密封门；第一密封门与所述的进样室铰链连接。

进一步，所述的第一缓冲室的前侧设置第二密封门；在第二密封门设置第一主抽气口法兰。

进一步，所述的镀膜室的前端设置第三密封门；在所述的第三密封门上面设置分子泵抽气口连接法兰；在分子泵抽气口连接法兰中间设置第一真空镀膜装置连接口；在第三密封门的下方设置第二真空镀膜装置连接口。

进一步，所述的第二缓冲室的前侧设置第四密封门；在第四密封门设置第二主抽气口法兰。

进一步，所述的进样室、第一缓冲室、镀膜室以及第二缓冲室的上方均设置压力检测口。

进一步，所述的大型真空镀膜连续线腔体内部连接成一直线状，在所述的大型真空镀膜连续线腔体内部设置一传输线；用于所述的进样室至所述的第二缓冲室之间依次传递。

在本实用新型中的技术效果在于，大型真空镀膜连续线腔体能够被应用于真空镀膜连续生产，满足真空镀膜连续生产对于镀膜腔体的要求。

附图说明

图1是本实用新型的立体图。

图2是本实用新型的主视图。

图3是本实用新型的俯视图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。