[实用新型]一种工具镀膜腔体有效

专利信息
申请号: 201920091961.6 申请日: 2019-01-21
公开(公告)号: CN209669338U 公开(公告)日: 2019-11-22
发明(设计)人: 熊凯;杨元才;褚景豫;钱鹏亮;王慧峰 申请(专利权)人: 上海福宜真空设备有限公司
主分类号: C23C14/32 分类号: C23C14/32
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201821 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 镀膜腔体 源接口 小弧 腔体门 视窗 本实用新型 抽口 底架 镀膜 品字形排列 镀膜产品 反面设置 技术效果 有效区 腔体
【权利要求书】:

1.一种工具镀膜腔体,其特征在于,包括镀膜腔体、底架、视窗接口、小弧源接口、主抽口、门上旋转多弧接口、腔体门;所述的底架上设置镀膜腔体;在所述的镀膜腔体的正面上设置若干个小弧源接口;所述的小弧源接口呈若干排;所述的小弧源接口列与列之间呈品字形排列;在所述的小弧源接口之间设置视窗接口;在所述的镀膜腔体的一侧设置若干个主抽口;在所述的镀膜腔体的反面设置腔体门;在所述的腔体门的下方设置若干个门上旋转多弧接口;在所述的腔体门上同样设置若干个视窗接口。

2.如权利要求1所述的工具镀膜腔体,其特征在于,所述的镀膜腔体呈圆柱体结构;所述的腔体门同样为圆弧结构。

3.如权利要求1所述的工具镀膜腔体,其特征在于,所述的小弧源接口为法兰连接结构。

4.如权利要求1所述的工具镀膜腔体,其特征在于,所述的视窗接口为法兰连接结构。

5.如权利要求1所述的工具镀膜腔体,其特征在于,所述的主抽口的一端与所述的镀膜腔体呈相贯体连接结构;在所述的主抽口的另一端设置法兰结构。

6.如权利要求1所述的工具镀膜腔体,其特征在于,所述的门上旋转多弧接口为法兰连接结构。

7.如权利要求1所述的工具镀膜腔体,其特征在于,在所述的底架下方设置底脚调平螺栓。

8.如权利要求1-7中任一项所述的工具镀膜腔体,其特征在于,所述的工具镀膜腔体的材料为不锈钢材料。

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