[实用新型]一种充装气路分配装置

说明书

本实用新型公开了一种充装气路分配装置，包括容纳管体、出气管和分配管，所述容纳管体内部设置有容纳腔，并且容纳腔呈圆柱状结构，所述容纳管体周侧顶端面设置有N组出气管，并且所述出气管贯穿容纳管体内部，N组所述出气管一侧面均设置有压力表，所述压力表一侧并且位于出气管前侧面设置有阀门手柄，所述容纳管体内部容纳腔的底端面内壁开设有矩形槽，所述矩形槽内竖直向上设置有N组压缩弹簧，N组所述压缩弹簧远离矩形槽的一端设置有承接板，并且所述承接板位于矩形槽内，所述容纳管体的容纳腔顶端面内壁设置有第一阶梯台。该充装气路分配装置，具有气体分配输送和密封防漏气的效果，便于使用。

技术领域

本实用新型属于充装气路技术领域，具体涉及一种充装气路分配装置。

背景技术

气体分配装置，包括：进气板、嵌入式分配板和下分配板；其中，所述进气板设有进气通路、以及与进气通路连通的容置部，所述嵌入式分配板嵌入容置部内；所述嵌入式分配板具有分配通路并且与容置部之间具有间隙；下分配板位于进气板的下面，将嵌入式分配板封装在所述容置部内。相应的，本发明还公开了一种采用所述气体分配装置的等离子体处理设备。所述的气体分配装置结构简单，对加工精度的要求较低，能够降低制造成本。

现有气路分配装置的密闭性较差，导致经常漏气，以及在分配气路时，不能随时更换多组气路输送。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种充装气路分配装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种充装气路分配装置，包括容纳管体、出气管和分配管，所述容纳管体内部设置有容纳腔，并且容纳腔呈圆柱状结构，所述容纳管体周侧顶端面设置有N组出气管，并且所述出气管贯穿容纳管体内部，N组所述出气管一侧面均设置有压力表，所述压力表一侧并且位于出气管前侧面设置有阀门手柄；

所述容纳管体内部容纳腔的底端面内壁开设有矩形槽，所述矩形槽内竖直向上设置有N组压缩弹簧，N组所述压缩弹簧远离矩形槽的一端设置有承接板，并且所述承接板位于矩形槽内，所述容纳管体的容纳腔顶端面内壁设置有第一阶梯台，所述容纳管体的容纳腔内插接有分配管，所述分配管底端面设置有与矩形槽配合滑动的滑板，并且位于所述分配管周侧顶端面设置有与第一阶梯台配合使用的第二阶梯台，所述容纳管体内壁且位于N组出气管与第一阶梯台之间均设置有通管，所述第二阶梯台顶端面设置有与通管配合使用的通孔，且采用密封连接，所述分配管内部设置有与通孔连接的第一管道，所述分配管一端内壁设置有内螺纹。

优选的，所述分配管内螺纹连接有过滤网，所述过滤网远离第二阶梯台的一侧并且位于分配管内部螺纹连接有连接板，并且所述连接板内横向设置有N组与分配管内部第一管道连接的第二管道。

优选的，所述阀门手柄贴近出气管的一侧面中心位置套接有销轴，所述销轴远离阀门手柄的一侧焊接有圆盘，并且所述圆盘的直径尺寸与出气管内圈的直径尺寸相同。

优选的，所述容纳管体外壁一侧横向开设有凹槽，所述凹槽内滑动连接有第一安装板，所述第一安装板上设置有凹槽配合使用的滑块，所述第一安装板上螺纹贯穿连接有N组紧固螺栓。

优选的，所述容纳管体一侧面螺纹连接有第二安装板，所述第二安装板呈圆盘状结构，并且环形阵列开设有N组内螺纹孔。

本实用新型的技术效果和优点：该充装气路分配装置，通过设置压缩弹簧、矩形槽、承接板和分配管，分配管通过滑板与矩形槽滑动安装，压缩弹簧和承接板能够有效的将分配管支撑起，使得通孔与通管连接，具有密封防漏气的效果；通过设置通管、通孔、连接板、第一管道第二管道，连接板连接分配管，使得气体从第二管道通入第一管道和通孔内，便于气体的分配输送；通过设置第一阶梯台和第二阶梯台，使得分配管在容纳管体内能够有效的配合连接，第一阶梯台和第二阶梯台起到限位的作用；该充装气路分配装置，具有气体分配输送和密封防漏气的效果，便于使用。

附图说明