[实用新型]一种用于洁净环境的圆盘高精度翻转装置

说明书

本实用新型公开了一种用于洁净环境的圆盘高精度翻转装置，包括：夹持机构，用于从侧部对圆盘进行夹紧；翻转机构，连接所述夹持机构，用于使所述夹持机构翻转，带动所述夹持机构夹持的圆盘翻转；升降机构，连接所述翻转机构，用于使所述翻转机构升起或降下，带动所述夹持机构夹持的圆盘升起或降下。本实用新型结构紧凑，可以安装在自动化生产线上做一个圆盘高精度翻转功能，也可以单独做一个设备，整个定位过程控制简单速度快，可以提高整个自动化制程的节拍，从而增加生产线的产能，为工厂带来更好的经济效益。

技术领域

本实用新型涉及半导体行业自动化制程设备技术领域，更具体地，涉及一种用于洁净环境的圆盘高精度翻转装置。

背景技术

在半导体行业自动化制程中，经常需要在ISOCLASS5的洁净环境下，对搬运过程中的圆盘类零件进行高精度的翻转。

目前，一般都是采用人工方式对圆盘类零件进行翻转。

然而，这种方式难以与前后的自动化工位进行时间上的匹配，因而不适合用在自动化设备上，并且，采用这种方式在对圆盘类零件进行翻转之后，也不能保证定位精度。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种用于洁净环境的圆盘高精度翻转装置。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种用于洁净环境的圆盘高精度翻转装置，包括：

夹持机构，用于从侧部对圆盘进行夹紧；

翻转机构，连接所述夹持机构，用于使所述夹持机构翻转，带动所述夹持机构夹持的圆盘翻转；

升降机构，连接所述翻转机构，用于使所述翻转机构升起或降下，带动所述夹持机构夹持的圆盘升起或降下。

进一步地，所述升降机构为一电缸，所述电缸设有缸体，所述缸体中设有丝杆，所述丝杆连接设于缸体一端的第一电机，所述丝杆上耦合有螺母，所述螺母通过滑块连接所述缸体上设有的滑轨，所述滑块同时连接所述翻转机构。

进一步地，所述翻转机构设有第二电机，所述第二电机通过支架连接所述滑块，所述第二电机通过其转轴连接所述夹持机构。

进一步地，所述转轴通过齿轮传动机构与一减速机直接转动连接，所述减速机固接所述夹持机构。

进一步地，所述减速机为中空法兰减速机。

进一步地，所述夹持机构设有夹持圆盘的多个夹爪，所述夹爪连接气缸，所述气缸连接所述减速机。

进一步地，所述夹持机构还设有限位块，用于使圆盘处于中心对准的位置。

进一步地，所述第一电机和第二电机为伺服电机。

进一步地，所述缸体设于一底座上。

进一步地，还包括圆盘工装，用于放置待翻转或翻转后的所述圆盘。

从上述技术方案可以看出，本实用新型通过伺服电机(第二电机)驱动中空法兰直联减速机对圆盘进行高精度翻转，升降机构的全封闭直线模组带动翻转机构升降。由于电机与减速机是直接连接，升降模组是全封闭的结构，能保证整个装置在ISOclass100洁净环境中对圆盘进行高精度翻转。本实用新型装置可作为一个标准整体模块，方便集成到自动化制程中，且在生产节拍上能跟前后自动化工位相匹配。

附图说明

图1-图3是本实用新型一较佳实施例的一种用于洁净环境的圆盘高精度翻转装置结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细说明。