[实用新型]一种多功能wafer载盘

说明书

本实用新型提供了一种多功能wafer载盘，包括：载盘固定主体、内载盘、工件固定机构；所述载盘固定主体的整体外观呈六棱柱状，且内载盘嵌入安装在载盘固定主体上，内载盘与载盘固定主体通过螺丝相连接；所述工件固定机构设置在载盘固定主体及内载盘的上方，且工件固定机构由固定锁板、磁体固定铁条、活动栓、磁铁、固定铁板组成；所述固定锁板位于载盘固定主体及内载盘的上方；本实用新型通过对多功能wafer载盘的改进，具有结构设计合理，操作方便，效率高，能够适用于不同尺寸晶元的固定，对不同尺寸晶元固定时无需更换载盘，减少资金投入，降低成本，实用性强的优点，从而有效的解决了现有装置中出现问题和不足。

技术领域

本实用新型涉及晶粒分选技术领域，更具体的说，尤其涉及一种多功能wafer载盘。

背景技术

分选机在进行晶粒分选时，需要载盘将wafer夹紧并载入挑拣位置。

但是目前行业内生产晶元的尺寸包括2寸或者4寸甚至6寸，而目前所有载盘都只能作业单尺寸，这就导致分选机台上的载盘也需要随之更换生产，使LED生产企业购买固定资产资金增加。

有鉴于此，针对现有的问题予以研究改良，提供一种多功能wafer载盘，旨在通过该技术，达到解决问题与提高实用价值性的目的。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种多功能wafer载盘，以解决上述背景技术中提出的目前行业内生产晶元的尺寸包括2寸或者4寸甚至6寸，而目前所有载盘都只能作业单尺寸，这就导致分选机台上的载盘也需要随之更换生产，使LED生产企业购买固定资产资金增加的问题和不足。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种多功能wafer载盘，由以下具体技术手段所达成：

一种多功能wafer载盘，包括：载盘固定主体、内载盘、工件固定机构、固定锁板、磁体固定铁条、活动栓、磁铁、固定铁板；所述载盘固定主体的整体外观呈六棱柱状，且内载盘嵌入安装在载盘固定主体上，内载盘与载盘固定主体通过螺丝相连接；所述工件固定机构设置在载盘固定主体及内载盘的上方，且工件固定机构由固定锁板、磁体固定铁条、活动栓、磁铁、固定铁板组成；所述固定锁板位于载盘固定主体及内载盘的上方，且固定锁板与载盘固定主体、内载盘为一体式结构；所述磁体固定铁条安装在固定锁板的一侧；所述活动栓的一端嵌入安装在磁体固定铁条的后端，且活动栓的另一端贯穿固定锁板，固定锁板与活动栓通过套入方式活动连接；所述固定铁板通过螺钉安装在磁体固定铁条的上方；所述磁铁安装在固定铁板的两侧，且磁铁与磁体固定铁条通过磁性吸合。

作为本技术方案的进一步优化，本实用新型一种多功能wafer载盘所述内载盘的整体外观呈圆环状，且内载盘通过与载盘固定主体的螺丝连接方式设置为拆卸装置。

作为本技术方案的进一步优化，本实用新型一种多功能wafer载盘所述载盘固定主体上开设有用于容纳内载盘的圆形凹槽，且内载盘安装后上表面与载盘固定主体的上表面平齐。

作为本技术方案的进一步优化，本实用新型一种多功能wafer载盘所述工件固定机构在载盘固定主体、内载盘的上方呈环形阵列状分布，工件固定机构在载盘固定主体、内载盘的上方均设置有三处。

作为本技术方案的进一步优化，本实用新型一种多功能wafer载盘所述磁体固定铁条通过固定锁板与活动栓以套入活动连接的方式设置为滑动装置。

由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

1、本实用新型内载盘的整体外观呈圆环状，且内载盘通过与载盘固定主体的螺丝连接方式设置为拆卸装置，载盘固定主体上开设有用于容纳内载盘的圆形凹槽，且内载盘安装后上表面与载盘固定主体的上表面平齐的设置，使装置能够适用于不同尺寸晶元的固定，对不同尺寸晶元固定时无需更换载盘，减少资金投入，降低成本，而载盘固定主体上的圆形凹槽方便了内载盘的安装，同时保证了固定面的水平，防止损坏晶元。