[实用新型]可用于半导体检测的装置有效
| 申请号： | 201920105218.1 | 申请日： | 2019-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN209166357U | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 梁士明;王常春;马登学;刘增欣;陈奎永;胡尊富 | 申请（专利权）人： | 临沂大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人： | 季英健 |
| 地址： | 276000*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 推杆 储存腔 半导体检测 本实用新型 安装座 可用 单个样品 检测装置 开口相对 连续检测 平台台面 平行固定 水平设有 水平伸缩 样品接触 误操作 一次性 侧壁 放入 排出 齐平 混淆 开口 存储 容纳 检测 | ||
【权利要求书】：
1.可用于半导体检测的装置，包括用于放置样品的检测平台，其特征在于，所述平台的后方设有与平台平行固定的安装座，安装座的上方设有可容纳样品的储存腔，所述储存腔的下方水平设有与平台台面齐平的开口，开口相对的侧壁上设有可水平伸缩的推杆，推杆位于储存腔内部的一端与样品接触连接。
2.根据权利要求1所述的可用于半导体检测的装置，其特征在于，所述储存腔的后侧设有控制推杆前后移动的压杆，压杆与推杆之间设置带有滑槽的连杆，推杆设有与连杆的滑槽配合的滑销。
3.根据权利要求2所述的可用于半导体检测的装置，其特征在于，所述连杆为弧形设置，连杆的中部设有弧形滑槽，推杆的中部设有与滑槽配合的滑销。
4.根据权利要求2所述的可用于半导体检测的装置，其特征在于，所述压杆外部设有套筒，套筒内部设有弹簧，所述压杆穿过弹簧内部，所述弹簧两端分别与套筒及压杆固定连接。
5.根据权利要求1所述的可用于半导体检测的装置，其特征在于，所述储存腔为圆筒形结构，储存腔的上方设有喇叭形开口。
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