[实用新型]一种热电偶出炉密封结构

权利要求书

1.一种热电偶出炉密封结构，其特征在于：所述热电偶为若干个，每个热电偶丝外部套有氧化铝两孔绝缘管，所述氧化铝两孔绝缘管外部套有氧化铝保护套管，且分成两部分，一部分在高温化学气相沉积炉内，一部分在高温化学气相沉积炉外，中间通过热电偶丝出炉金属连接件连接，所述热电偶丝出炉连接件的外部嵌套一硅胶套件，所述硅胶套件内表面与所述热电偶丝出炉金属连接件接触，外表面与一带有阶梯圆槽孔的金属圆板接触并压紧。

2.根据权利要求1所述的热电偶出炉密封结构，其特征在于：其中一部分所述热电偶丝的一端插入所述热电偶丝出炉金属连接件的孔内，并用螺母夹紧，其中另一部分所述热电偶丝的一端放入所述热电偶丝出炉金属连接件上的两个螺母之间并夹紧。

3.根据权利要求1所述的热电偶出炉密封结构，其特征在于：所述热电偶丝出炉连接件通过硅胶套件固定于所述高温化学气相沉积炉法兰上，且所述带有阶梯圆槽孔的金属圆板和所述高温化学气相沉积炉法兰之间设有一垫片，所述带有阶梯圆槽孔的金属圆板另一端通过另一垫片与一圆孔金属圆板连接。

4.根据权利要求3所述的热电偶出炉密封结构，其特征在于：所述垫片的厚度为10mm，其材质可为硅胶或者聚四氟乙烯。

5.根据权利要求3或4所述的热电偶出炉密封结构，其特征在于：所述圆孔金属圆板和热电偶丝出炉金属连接件之间的间隙注入耐高温硅酮密封胶。

6.根据权利要求1所述的热电偶出炉密封结构，其特征在于：所述高温化学气相沉积炉内设有三个热电偶，所述三个热电偶整体呈倒“L”型。

7.根据权利要求6所述的热电偶出炉密封结构，其特征在于：所述三个热电偶位于所述高温化学气相沉积炉的发热体和瓦片砖之间的缝隙内，该缝隙的宽度为20mm-50mm。

8.根据权利要求7所述的热电偶出炉密封结构，其特征在于：所述氧化铝保护套管的一端插入所述高温化学气相沉积炉炉体底部的预留孔内，使所述氧化铝保护套管保持竖直状态固定，在所述高温化学气相沉积炉外的所述氧化铝保护套管的另一端用Y型陶瓷夹具固定。

9.根据权利要求1所述的热电偶出炉密封结构，其特征在于：所述热电偶丝出炉金属连接件的长度约为200mm。