[实用新型]电子束蒸发式真空镀膜机

说明书

电子束蒸发式真空镀膜机，包括腔体组件、伞架组件、高阀组件、深冷系统、管道系统、扩散泵、罗茨泵、机械泵、离子源组件、电子枪组件、电控柜组件、线槽组件和门夹紧组件；所述伞架组件固定在腔体组件上，所述高阀组件与腔体组件相连，所述高阀组件、扩散泵、罗茨泵以及机械泵通过管道系统连接在一起，所述门夹紧组件安装于腔体组件上；所述电子枪组件的电子枪部分、离子源组件的离子源部分均安装在腔体组件内；所述深冷系统包括2根深冷盘管，1根安装在腔体组件内，1根安装在高阀组件内。本实用新型具有机构简单，镀膜结构均匀重复性高，腔体尺寸可达2700mm，镀膜效率高等特点。

技术领域

本实用新型涉及一种电子束蒸发式真空镀膜机。

背景技术

目前，现有电子束蒸发式真空镀膜由于设计上存在的不足，其存在机构复杂、镀膜结构均匀重复性低、镀膜效率低的缺陷。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是，提供一种机构简单，镀膜结构均匀重复性高，腔体尺寸可达2700mm，镀膜效率高的电子束蒸发式真空镀膜机。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种电子束蒸发式真空镀膜机，包括腔体组件、伞架组件、高阀组件、深冷系统、管道系统、扩散泵、罗茨泵、机械泵、离子源组件、电子枪组件、电控柜组件、线槽组件和门夹紧组件；所述伞架组件固定在腔体组件上，所述高阀组件与腔体组件相连，所述高阀组件、扩散泵、罗茨泵以及机械泵通过管道系统连接在一起，所述门夹紧组件安装于腔体组件上；所述电子枪组件的电子枪部分、离子源组件的离子源部分均安装在腔体组件内；所述深冷系统包括2根深冷盘管，1根安装在腔体组件内，1根安装在高阀组件内。

进一步，所述扩散泵为2个，所述机械泵为2个。

进一步，所述机械泵上安装有油雾过滤组件。

进一步，所述线槽组件、电控柜组件、电子枪组件的电源、离子源组件的电源放置在腔体组件右侧，所述深冷系统的深冷机放置在腔体组件左侧后方。

进一步，还设有脚踏板组件，所述脚踏板组件放置在腔体组件正前方。

进一步，所述腔体组件内同时还安装有卤素灯、防污衬板、修正板等。卤素灯的作用在于镀膜机开始工作时先对炉体内壁加热，防污衬板的作用在于防止工作物资污染炉体内壁（清洗防污衬板比清洗炉体内壁简单），修正板的作用在于修正镀膜厚度的均匀性。

与现有技术相比，本实用新型具有机构简单，镀膜结构均匀重复性高，腔体尺寸可达2700mm，镀膜效率高等特点。

附图说明

图1 为本实用新型实施例的结构示意图；

图中：1.腔体组件，2.伞架组件，3.高阀组件，4.深冷系统，5.管道系统，6.油过滤组件，7.扩散泵，8.罗茨泵，9.机械泵，10.离子源组件，11.电子枪组件，12.电控柜组件，13.线槽组件，14.门夹紧组件，15.脚踏板组件。

具体实施方式

以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明。

实施例