[实用新型]一种晶圆倒片机的盘盖定位装置

权利要求书

1.一种晶圆倒片机的盘盖定位装置，其特征在于，包括多个第一定位块，所述第一定位块设于底板上，并围绕盘盖的圆周设置，所述第一定位块设有支撑面，用于支撑所述盘盖，并对所述盘盖的外径进行定位。

2.根据权利要求1所述的晶圆倒片机的盘盖定位装置，其特征在于，所述第一定位块为三个，其围绕盘盖的圆周均匀设置。

3.根据权利要求1所述的晶圆倒片机的盘盖定位装置，其特征在于，各所述支撑面为台阶形，其台阶的底面等高，用于支撑所述盘盖的下边，其台阶的侧面与所述盘盖外径的接触面为同心面，用于限制所述盘盖水平移动。

4.根据权利要求1所述的晶圆倒片机的盘盖定位装置，其特征在于，所述第一定位块活动设于所述底板上，并通过第一紧固件与所述底板固定。

5.根据权利要求4所述的晶圆倒片机的盘盖定位装置，其特征在于，所述第一紧固件为螺栓。

6.根据权利要求1所述的晶圆倒片机的盘盖定位装置，其特征在于，所述第一定位块的表面设有与所述第一定位块的轮廓相一致的保护层结构。

7.根据权利要求6所述的晶圆倒片机的盘盖定位装置，其特征在于，所述保护层为与所述第一定位块的轮廓相一致的特氟龙保护层结构。

8.根据权利要求1所述的晶圆倒片机的盘盖定位装置，其特征在于，还包括一个第二定位块，所述第二定位块向上突出设于底板上，并位于所述盘盖的圆周边部，用于对所述盘盖圆周边部设有的缺口标记的位置进行定位，防止所述盘盖转动。

9.根据权利要求8所述的晶圆倒片机的盘盖定位装置，其特征在于，所述第二定位块包括定位销和调节块，所述调节块设于底板上，所述定位销竖直活动设于所述调节块上，并通过第二紧固件与所述调节块固定。

10.根据权利要求9所述的晶圆倒片机的盘盖定位装置，其特征在于，所述第二紧固件为螺栓。