[实用新型]晶环装置

权利要求书

1.一种晶环装置，包括支架、驱动所述支架沿X轴方向运动的第一驱动机构和驱动所述支架沿Y轴方向运动的第二驱动机构，其特征在于，还包括三个的用于固定晶环的固定机构，三个的所述固定机构间隔设置于所述支架上，所述固定机构包括旋转件、用于固定晶环的固定件和用于驱动所述旋转件进行360°旋转的第三驱动组件，所述固定件固定设置于所述旋转件上。

2.根据权利要求1所述的晶环装置，其特征在于，所述第三驱动组件包括同步带和驱动所述同步带旋转的第三旋转马达，所述同步带套设于所述旋转件上。

3.根据权利要求2所述的晶环装置，其特征在于，所述支架上还设有压紧组件，所述压紧组件包括第一压轮和第二压轮，所述第一压轮与第二压轮对应设置，所述同步带位于所述第一压轮和第二压轮之间，且所述第一压轮和第二压轮分别抵持所述同步带。

4.根据权利要求1所述的晶环装置，其特征在于，所述固定机构还包括用于固定所述旋转件的旋转轴承。

5.根据权利要求1所述的晶环装置，其特征在于，还包括底座，所述第一驱动机构和第二驱动机构均固定设置于所述底座上。

6.根据权利要求1所述的晶环装置，其特征在于，三个的所述固定件的圆心位于同一直线上。