[实用新型]一种矽晶片冷却晾干装置有效
申请号: | 201920112618.5 | 申请日: | 2019-01-23 |
公开(公告)号: | CN209515613U | 公开(公告)日: | 2019-10-18 |
发明(设计)人: | 孙奇志 | 申请(专利权)人: | 佛山市南海益晶科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687;H01L31/18 |
代理公司: | 武汉明正专利代理事务所(普通合伙) 42241 | 代理人: | 张伶俐 |
地址: | 528000 广东省佛山*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 矽晶片 竖杆 晾晒 本实用新型 可拆卸连接 晾干装置 上端固定 上端 承载板 固定板 支撑板 车体 冷却 等间距固定 方便移动 晾干 横杆 横板 摇把 贯穿 | ||
1.一种矽晶片冷却晾干装置,包括车体(7),其特征在于:所述车体(7)的上端设有凹槽(17),所述凹槽(17)内的底部可拆卸连接有支撑板(11),所述支撑板(11)的上端固定有承载板(15),所述承载板(15)的上端固定有四个竖杆(6),同一侧的两个竖杆(6)为一组,同一组内的两个竖杆(6)的一侧共同等间距固定有多个横杆(10),且同一组内的两个竖杆(6)的上端共同固定有横板(1),同一组内的两个竖杆(6)的一侧共同可拆卸连接有固定板(12),其中一个固定板(12)的一侧贯穿设有摇把(13),所述摇把(13)的一端固定有转动辊(14),所述转动辊(14)的一端固定有转动杆,所述转动杆的一端转动连接在另一个固定板(12)的一侧,所述转动辊(14)上等间距固定有多个连接杆(4),所述连接杆(4)的一端固定有放置板(3),所述放置板(3)的一侧设有豁口,所述豁口内的三个侧壁上均设有限位槽(5)。
2.根据权利要求1所述的一种矽晶片冷却晾干装置,其特征在于,其中一个固定板(12)上等间距设有多个插孔(19),所述转动辊(14)的一侧等间距设有多个和插孔(19)对应的盲孔,其中一个插孔(19)内贯穿设有插杆(20),所述插杆(20)的一端延伸至其中一个盲孔内。
3.根据权利要求1所述的一种矽晶片冷却晾干装置,其特征在于,其中一个限位槽(5)内的一端侧壁上设有螺纹通孔,所述螺纹通孔内贯穿设有螺杆(22),所述螺杆(22)的一端固定有转动块(2)。
4.根据权利要求1所述的一种矽晶片冷却晾干装置,其特征在于,两个固定板(12)上均设有四个第一通孔,四个竖杆(6)上均设有两个和第一通孔对应的第一螺纹盲孔,所述第一通孔内贯穿设有第二螺钉(18),所述第二螺钉(18)的一端延伸至对应的第一螺纹盲孔内。
5.根据权利要求1所述的一种矽晶片冷却晾干装置,其特征在于,所述支撑板(11)上设有两个第二通孔,所述凹槽(17)内的底部设有两个和第二通孔对应的第二螺纹盲孔,所述第二通孔内贯穿设有第一螺钉(16),所述第一螺钉(16)的下端延伸至第二螺纹盲孔内。
6.根据权利要求1所述的一种矽晶片冷却晾干装置,其特征在于,所述车体(7)的下端四角均固定有连接件(8),所述连接件(8)上安装有滚轮(9)。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佛山市南海益晶科技有限公司,未经佛山市南海益晶科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201920112618.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种用于石英加工的加热槽
- 下一篇:一种固晶设备出料防卡料装置
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造