[实用新型]一种晶振头随转膜厚自动监控系统有效
| 申请号： | 201920114533.0 | 申请日： | 2019-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN209989460U | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 吴一;彭绍群;王金林 | 申请（专利权）人： | 深圳市南方创新真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市坂田街*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空室 膜厚 自动监控系统 本实用新型 晶振 控制驱动组件 中心位置处 不稳定性 导电滑环 工作效率 检测信号 输出导线 输出控制 数值传递 触摸屏 基片膜 膜厚仪 位置处 显示端 检测 探头 振头 种晶 转膜 运算 转动 传输 干预 | ||
1.一种晶振头随转膜厚自动监控系统，包括真空室（1），其特征在于，所述真空室（1）的一侧设置有PLC控制器（3），且真空室（1）的一侧位于PLC控制器（3）的旁边位置处设置有触摸屏（4），所述真空室（1）的上方位于中心位置处设置有导电滑环（13），且真空室（1）的底部安装有驱动组件A（10），所述真空室（1）的内部底端转动连接有固定齿轮盘（8），且真空室（1）的内部底端位于固定齿轮盘（8）的外圈位置处转动连接有与其相啮合的做行星转动的从动小齿轮（9），所述固定齿轮盘（8）的上方设置有可转动的公转盘（7），且固定齿轮盘（8）上方相对应从动小齿轮（9）的位置处转动连接有与其相固定的自转挂具（2），所述导电滑环（13）的内部设置有垂直向下延伸至真空室（1）内部的晶振线引入轴（5），且导电滑环（13）的上部安装有晶振膜厚仪（12），所述晶振线引入轴（5）的一侧通过连杆连接有晶振探头（11），且晶振线引入轴（5）的下部通过三节万向接头（6）与真空室（1）底部的旋转驱动组件A（10）相连接。
2.根据权利要求1所述的一种晶振头随转膜厚自动监控系统，其特征在于，所述驱动组件A（10）包括第一伺服电机、第一电机架以及主动轴，主动轴连接第一伺服电机传动端，且主动轴的另一端贯穿真空室（1）和固定齿轮盘（8）与晶振线引入轴（5）固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种晶振头随转膜厚自动监控系统，其特征在于，所述晶振探头（11）位于自转挂具（2）之间间隙中，且径向尺寸可调。
4.根据权利要求1所述的一种晶振头随转膜厚自动监控系统，其特征在于，所述公转盘（7）呈圆盘形结构，且公转盘（7）与晶振线引入轴（5）之间通过固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种晶振头随转膜厚自动监控系统，其特征在于，所述晶振线引入轴（5）为空心结构，所述晶振探头（11）与晶振膜厚仪（12）之间通过输出导线相连。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市南方创新真空技术有限公司，未经深圳市南方创新真空技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201920114533.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
