[实用新型]一种3D窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具

说明书

本实用新型公开一种3D窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具，包括对夹式夹具底座、对夹式夹具顶盖和滤光片固定架，所述对夹式夹具底座的表面上开设有滤光片固定架安装槽，所述滤光片固定架安装槽的内部开设有滤光片安装槽，所述滤光片固定架安装槽的表面上设置有两个滤光片固定架定位凸出，两个所述滤光片固定架定位凸出对称设置，所述滤光片固定架正面的表面上环形分布有滤水槽，所述滤光片固定架上开设有与滤光片固定架定位凸出相配合的两个定位豁口，本实用新型当第一面镀膜完成后无需拆卸即可直接进行超声波清洗，之后镀制第二面镀膜，可以有效的提高3D窄带滤光片的镀膜效率，有利于提高企业生产效益。

技术领域

本实用新型涉及夹具技术领域，具体为一种3D窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具。

背景技术

窄带滤光片，是从带通滤光片中细分出来的，其定义与带通滤光片相同，也就是这种滤光片在特定的波段允许光信号通过，而偏离这个波段以外的两侧光信号被阻止，窄带滤光片的通带相对来说比较窄，一般为中心波长值的5%以下。

溅射镀膜技术是用离子轰击靶材表面，把靶材的原子被击出的现象称为溅射。溅射产生的原子沉积在基体表面成膜称为溅射镀膜。通常是利用气体放电产生气体电离，其正离子在电场作用下高速轰击阴极靶体，击出阴极靶体原子或分子，飞向被镀基体表面沉积成薄膜。

现有的用于3D窄带滤光片溅射镀膜用的对夹式夹具在使用时，当第一面镀膜完成后，需要将夹具拆卸下来对滤光片进行清洗，之后再将滤光片安装到夹具上进行第二次镀膜，使用较为麻烦，工作效率较低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种3D窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具旨在改善现有的用于3D窄带滤光片溅射镀膜用的对夹式夹具在使用时存在的问题。

本实用新型是这样实现的：

一种3D窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具，包括对夹式夹具底座、对夹式夹具顶盖和滤光片固定架，所述对夹式夹具底座的表面上开设有滤光片固定架安装槽，所述滤光片固定架安装槽的内部开设有滤光片安装槽，所述滤光片固定架安装槽的表面上设置有两个滤光片固定架定位凸出，两个所述滤光片固定架定位凸出对称设置，所述滤光片固定架正面的表面上环形分布有滤水槽，所述滤光片固定架上开设有与滤光片固定架定位凸出相配合的两个定位豁口，所述滤光片固定架正面的表面上设置有两个对夹式夹具顶盖定位凸出，且两个对夹式夹具顶盖定位凸出对称设置，所述滤光片固定架的背面安装有十字固定架，所述滤光片固定架的边缘位置开设有两个对称设置的第一配合槽，所述对夹式夹具顶盖的边缘位置开设有与两个第一配合槽相配合的第二配合槽，所述对夹式夹具顶盖的表面上开设有与对夹式夹具顶盖定位凸出相配合的定位通孔。

进一步的，所述滤光片固定架的背面表面上开设有十字固定架安装槽，所述十字固定架通过螺丝固定在十字固定架安装槽的内部，且十字固定架的厚度等于十字固定架安装槽的深度。

进一步的，所述对夹式夹具底座、对夹式夹具顶盖和滤光片固定架的整体均设置为环形结构，所述滤光片固定架安装槽与滤光片安装槽的横截面呈阶梯状。

进一步的，所述对夹式夹具顶盖定位凸出与滤光片固定架一体成型，所述滤光片固定架定位凸出与对夹式夹具底座一体成型。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型在使用时，先将3D窄带滤光片放置到滤光片安装槽的内部，之后将滤光片固定架放置到滤光片固定架安装槽的内部，在此过程中，通过滤光片固定架定位凸出和定位豁口的相互配合，使得滤光片固定架的安装更加精准，然后将对夹式夹具顶盖安装到滤光片固定架的顶部，在此过程中通过对夹式夹具顶盖定位凸出和定位通孔的相互配合，使得对夹式夹具顶盖的安转更为精准，当第一面镀膜完成后需要对3D窄带滤光片进行清洗时，通过在滤光片固定架的表面上开设有滤水槽，使得本实用新型可以无需拆卸即可直接进行超声波清洗，之后镀制第二面镀膜，可以有效的提高3D窄带滤光片的镀膜效率。

附图说明