[实用新型]一种单晶炉用可提升复合式水冷换热器有效

专利信息
申请号: 201920120916.9 申请日: 2019-01-23
公开(公告)号: CN209619502U 公开(公告)日: 2019-11-12
发明(设计)人: 李方;逯占文;曹玉宝;朱凯 申请(专利权)人: 大连连城数控机器股份有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 大连东方专利代理有限责任公司 21212 代理人: 唐楠;李洪福
地址: 116000 辽宁省大连市甘井子区营城*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 水冷换热器 复合式 单晶炉 内筒 提升机构 提升臂 冷却水循环通道 本实用新型 外筒 纵向温度梯度 顶端焊接 可提升式 石英坩埚 液面位置 热效率 换热层 晶体的 水冷套 铰接 铰链 拉晶 内壁 液面 体内
【权利要求书】:

1.一种单晶炉用可提升复合式水冷换热器,用于设置在单晶炉炉体内石英坩埚的上方,其特征在于,包括可提升复合式水冷换热器,所述可提升复合式水冷换热器包括内筒、设置在所述内筒外部的外筒和设置在所述单晶炉的炉盖上且将所述内筒和外筒提升或下降的提升机构;

所述内筒和外筒均呈倒置中空的圆台状;所述内筒的轴线与所述外筒的轴线重合;所述内筒内具有冷却水循环通道,所述冷却水循环通道内循环有冷却水,且所述内筒的内壁上具有增加所述冷却水循环通道换热效率的高效换热层;

所述外筒包括保温部分和屏蔽部分,所述保温部分为多层结构,且每层均为保温材料制成;所述屏蔽部分包裹在所述保温部分外部,且所述屏蔽部分包括至少两层,且每层均为石墨或碳碳复合材料制成;

所述内筒的顶端焊接两个提升臂,且两个所述提升臂围绕所述内筒的轴线均匀分布;

所述外筒的顶端通过铰链与所述提升臂铰接;

所述单晶炉的炉盖在所述提升臂所对应处设置有提升通孔,且所述提升机构设置在所述提升通孔处,所述提升臂的上部穿过所述提升通孔与所述提升机构连接。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用可提升复合式水冷换热器,其特征在于:

所述外筒的顶端具有垂直于所述外筒的轴线并向所述外筒的外沿延伸的延伸部,且所述铰链设置在所述延伸部上;所述外筒的底端具有垂直于所述外筒的轴线并向所述外筒的轴线延伸的底端部。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉用可提升复合式水冷换热器,其特征在于:所述高效换热层为发黑处理的金属氧化膜层。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉用可提升复合式水冷换热器,其特征在于:所述提升臂穿过所述提升通孔的部分上套设有波纹管,且所述波纹管的顶端与所述提升机构固定连接。

5.根据权利要求2所述的一种单晶炉用可提升复合式水冷换热器,其特征在于:所述底端部的下表面与所述单晶炉炉体内的液面之间的距离为20mm-200mm。

6.根据权利要求4所述的一种单晶炉用可提升复合式水冷换热器,其特征在于:所述提升机构包括两个分别固定在所述提升通孔处的安装架、分别固定在两个所述安装架底部的两个螺旋升降器、设置在所述螺旋升降器顶端且与所述螺旋升降器连接的丝杆、驱动其中一个所述螺旋升降器运动且水平设置在所述安装架底部的驱动电机、设置在所述丝杆上与所述丝杆相配合的提升螺母;

两个所述螺旋升降器之间通过传动软轴连接;

所述波纹管的底部与所述安装架固定连接,所述波纹管的上部与所述提升螺母固定连接;

所述提升臂的上部与所述提升螺母固定连。

7.根据权利要求4所述的一种单晶炉用可提升复合式水冷换热器,其特征在于:所述铰链包括底端与所述外筒固定连接的钼挂件,所述钼挂件的顶端固定有转接吊耳,所述转接吊耳上通过与所述转接吊耳相配合的耳轴转动连接有调节吊杆,所述调节吊杆的顶端固定有吊销轴,所述吊销轴的两端与所述提升臂的底端铰接。

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