[实用新型]多分量mems加速度计

说明书

多分量mems加速度计。本实用新型涉及一种多分量mems加速度计。所述的空心长方体（1）的上端开有方形凹槽（2），所述的方形凹槽（2）内设置转轴（3），所述的转轴（3）上开有环形缺（4），所述的环形缺（4）上套接第一加速度计（6）、第二加速度计（7）与第三加速度计（8），所述的转轴（3）内开有走线槽（5），所述的走线槽（5）连通第一加速度计（6）、第二加速度计（7）与第三加速度计（8）。本实用新型多个mems加速度计相互配合使用，使用更广泛，结构稳定。

技术领域

本实用新型涉及一种多分量mems加速度计。

背景技术

传统的加速度计抗过载能力差，且其与高精度陀螺仪配合使用体积大结构复杂，容易引起故障，使用效率低。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种多分量mems加速度计，多个mems加速度计相互配合使用，使用更广泛，结构稳定。

上述的目的通过以下的技术方案实现：

一种多分量mems加速度计，其组成包括：空心长方体转轴1转轴，所述的空心长方体转轴1转轴的上端开有方形凹槽转轴2转轴，所述的方形凹槽转轴2转轴内设置转轴转轴3转轴，所述的转轴转轴3转轴上开有环形缺转轴4转轴，所述的环形缺转轴4转轴上套接第一加速度计转轴6转轴、第二加速度计转轴7转轴与第三加速度计转轴8转轴，所述的转轴转轴3转轴内开有走线槽转轴5转轴，所述的走线槽转轴5转轴连通第一加速度计转轴6转轴、第二加速度计转轴7转轴与第三加速度计转轴8转轴，

所述的第一加速度计转轴6转轴上设置插口Ⅰ转轴9转轴，所述的插口Ⅰ转轴9转轴的下方设置开关Ⅰ转轴10转轴，所述的第二加速度计转轴7转轴上设置插口Ⅱ转轴13转轴，所述的插口Ⅱ转轴13转轴的下方设置开关Ⅱ转轴11转轴，所述的第三加速度计转轴8转轴上设置插口Ⅲ转轴14转轴，所述的插口Ⅲ转轴14转轴的下方设置开关Ⅲ转轴12转轴；

所述的转轴转轴3转轴插入空心长方体转轴1转轴，所述的空心长方体转轴1转轴内装入微处理器U1，所述的微处理器U1连接第一加速度计转轴6转轴、第二加速度计转轴7转轴与第三加速度计转轴8转轴。

进一步的，所述的内部装入芯片U2，所述的芯片U2的3号端连接芯片U2的5号端、芯片U2的6号端、芯片U2的8号端、电容C5的一端与接地端，所述的芯片U2的4号端连接电容C5的另一端与工作电压VDD端，

所述的芯片U2的11号端连接芯片U2的14号端、电容C3的一端、电容C4的一端与工作电压VDD端，所述的电容C4的另一端接地，所述的芯片U2的12号端连接Vy轴向，所述的芯片U2的13号端连接Vx轴向，

所述的芯片U2的2号端连接Vz轴向，所述的芯片U2的15号端连接芯片U2的16号端、电容C3的另一端与接地端。

进一步的，所述的微处理器U1的10号端串联电阻R4后接地，所述的微处理器U1的1号端串联电阻R5后连接工作电压VCC3.3，

所述的微处理器U1的24号端连接晶振Y1的一端与电容C11的一端，所述的微处理器U1的23号端连接晶振Y1的另一端与电容C12的一端，所述的电容C11的另一端连接电容C12的另一端后接地，

所述的微处理器U1的22号端连接微处理器U1的53号端、微处理器U1的63号端后接地，

所述的微处理器U1的57号端连接电阻R6的一端，所述的微处理器U1的56号端连接电阻R6的一端，所述的微处理器U1的55号端连接电阻R7的一端，所述的微处理器U1的54号端连接电阻R9的一端，

所述的电阻R6的另一端连接电阻R7的另一端、电阻R8的另一端、电阻R9的另一端后连接工作电压VCC3.3，