[实用新型]一种镀膜机用靶材加热保温装置

说明书

本实用新型公开了一种镀膜机用靶材加热保温装置，包括：壳体、保温层、内胆、保护罩、一对结构相同的第一电动推杆、加热器、固定架、活动盖以及支腿架，所述保温层位于壳体内，所述固定架安装于壳体内，所述内胆安装于固定架上，所述加热器安装于内胆外壁，所述保护罩底端与壳体内壁固定连接，一对所述第一电动推杆左端安装于壳体内部，所述活动盖位于壳体右侧，所述支腿架安装于壳体底端，所述活动盖上具有抓取结构，本实用新型涉及镀膜机靶材技术应用技术领域，该装置设计合理，使用方法简单便于操作，方便拆卸与安装，通过该加热保温装置。

技术领域

本实用新型涉及镀膜机靶材技术应用技术领域，具体为一种镀膜机用靶材加热保温装置。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应，例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等，更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)，但是将靶材放置镀膜机内时，还需将靶材进行高温加热，在此过程中增加了等待时间以及工作时长，同时大大的降低了工作效率，鉴于此，针对上述问题深入研究，遂有本案产生。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种镀膜机用靶材加热保温装置，解决了现有的将靶材放置镀膜机内，还需将靶材进行高温加热的问题，在需使用更换靶材时，可直接将加热后的靶材从壳体内取出，避免工人在取出的过程中，对人体造成损伤。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种镀膜机用靶材加热保温装置，包括：壳体、保温层、内胆、保护罩、一对结构相同的第一电动推杆、加热器、固定架、活动盖以及支腿架，所述保温层位于壳体内，且敷设其内壁面上，所述固定架安装于壳体内，且与其内壁固定连接，所述内胆安装于固定架上，所述加热器安装于内胆外壁，所述保护罩底端与壳体内壁固定连接，且套装于加热器上，一对所述第一电动推杆左端安装于壳体内部，且与壳体内壁固定连接，所述活动盖位于壳体右侧，且与第一电动推杆右侧相连接，所述支腿架安装于壳体底端，且分布四个角落，所述活动盖上具有抓取结构；

所述抓取结构，其包括：第二电动推杆、抓取钳以及支撑架；

所述第二电动推杆安装于活动盖内壁面上，且右端与其固定连接，所述抓取钳安装于第二电动推杆伸缩端，所述支撑架一端安装于活动盖上，另一端与第二电动推杆相连接。

优选的，所述壳体外侧设有防护垫，该防护垫用于保护壳体，避免在搬运或者移动过程中发生碰撞时，对其造成磨损。

优选的，所述支腿架底端设有防滑垫，该防滑垫用于防滑。

优选的，所述保护罩内设有隔热垫，该隔热垫用于隔热。

优选的，所述第二电动推杆外侧设有伸缩保护套，该伸缩保护套用于保护第二电动推杆。

优选的，所述内胆内部设有存放架，该存放架用于放置靶材。

有益效果

本实用新型提供了一种镀膜机用靶材加热保温装置，具备以下有益效果，该装置设计合理，使用方法简单便于操作，方便拆卸与安装，通过该加热保温装置，解决了将靶材放置镀膜机内，还需将靶材进行高温加热的问题，在需使用更换靶材时，可直接将加热后的靶材从壳体内取出，避免工人在取出的过程中，对人体造成损伤，在此过程中减少了等待时间，增加了安全性，同时大大的增加了工作效率。

附图说明

图1为本实用新型所述一种镀膜机用靶材加热保温装置的主视结构示意图。

图2为本实用新型所述一种镀膜机用靶材加热保温装置的侧视结构示意图。