[实用新型]一种十字交叉压缩悬臂梁的变刚度微纳测头

权利要求书

1.一种十字交叉压缩悬臂梁的变刚度微纳测头，其特征在于，基座、“H”型柔顺机构基座、压电驱动装置基座、压电驱动装置、“H”型柔顺机构、位移传感器、弹性梁、支撑梁、测头、测杆、中心体及螺栓和定位结构；

所述基座四周均匀开有四个通孔Ⅰ，螺栓Ⅰ穿过通孔Ⅰ与三坐标位移机连接；压电驱动装置基座的四个基座相互成90度夹角分布在基座上面，用胶水连接；压电驱动装置基座表面开有定位槽，用于压电驱动装置的定位，压电驱动装置安放在放在定位槽上面，用胶水连接；“H”型柔顺机构基座的四个底座也是均匀分布在基座上面，此基座上面开有螺纹孔，此基座也是通过胶水与预先留在基座上的定位孔通过胶水连接；位移传感器共四个，均匀分布在基座表面，也是与预先留号的定位孔通过胶水连接；“H”型柔顺机构那放在“H”型柔顺机构基座上方，“H”型柔顺机构的四周开有通孔Ⅱ，螺纹孔与通孔Ⅱ同心配合，螺栓Ⅱ穿过孔与“H”型柔顺机构基座连接，“H”型柔顺机构的外表面与压电驱动装置相互接触，“H”型柔顺机构的内侧的加强横梁部分有定位孔；中心体四周各有四个定位孔，支撑梁连接在定位孔和中心体上的孔之间，支撑梁通过胶水与两处的定位孔连接，四个支撑梁均为这种连接方法；弹性梁与中心体上表面通过胶水连接，因为中心体的外圈轮廓正好与弹性梁的十字交叉处内切，因此定位精度可以达到，连接还是通过胶水连接；弹性梁与位移传感器之间存在1mm到3mm左右的间隙；测杆与中心体通过胶水连接，测头与测杆的连接也是胶水。

2.根据权利要求1所述的一种十字交叉压缩悬臂梁的变刚度微纳测头，其特征在于压电驱动装置的厚度比“H”型柔顺机构的略大。

3.根据权利要求1所述的一种十字交叉压缩悬臂梁的变刚度微纳测头，其特征在于，所述位移传感器，与信号放大电路连接，放大电路与数据采集器连接，数据采集器与电脑连接。

4.根据权利要求1所述的一种十字交叉压缩悬臂梁的变刚度微纳测头，其特征在于，除了弹性梁为铍青铜材料；测杆为碳化钨材料；测球为红宝石材料，“H”型柔顺机构、基座、“H”型柔顺机构基座、压电驱动装置基座、支撑梁由铝合金加工而成。

5.根据权利要求1所述的一种十字交叉压缩悬臂梁的变刚度微纳测头，其特征在于，所述测杆包括上层的锥台段和下层的圆柱段，锥台段底端对应连接安装座中心位置，顶端与圆柱段一端连接，测球设计在圆柱段另一端。

6.根据权利要求1所述的一种十字交叉压缩悬臂梁的变刚度微纳测头，其特征在于，压电驱动装置的不同工作中状态改变测头刚度。

7.根据权利要求1所述的一种十字交叉压缩悬臂梁的变刚度微纳测头，其特征在于，连接方式采用胶水连接是可靠的。