[实用新型]一种全光谱薄膜厚度测量仪

权利要求书

1.一种全光谱薄膜厚度测量仪，其特征在于，包括检测平台、以及与检测平台相连接的检测系统，其中：

检测平台包括支撑底座、二维平台、膜厚探头的支撑架和膜厚探头；所述二维平台通过支撑柱固定设置在支撑底座上，膜厚探头的支撑架设置在支撑底座上，且位于二维平台后侧；膜厚探头固定设置膜厚探头的支撑架上；

检测系统与检测平台之间通过光纤和数据线连接，该检测系统包括全光谱光谱仪、二维平台控制板、氘卤组合灯电源模块、风扇、步进电机驱动器和氘卤组合灯；所述氘卤组合灯电源模块位于全光谱光谱仪右侧；二维平台控制板和氘卤组合灯设置在氘卤组合灯电源模块和全光谱光谱仪之间，且氘卤组合灯位于二维平台控制板前侧；所述步进电机驱动器位于氘卤组合灯前侧；风扇位于步进电机驱动器前侧。

2.根据权利要求1所述的一种全光谱薄膜厚度测量仪，其特征在于，所述光纤采用Y型光纤。

3.根据权利要求1所述的一种全光谱薄膜厚度测量仪，其特征在于，所述氘卤组合灯发射光的波段为190-2500nm从紫外到可见到红外；所述氘卤组合灯上设有一个SMA接口用于连接Y型光纤；所述氘卤组合灯上贴有散热片。

4.根据权利要求1所述的一种全光谱薄膜厚度测量仪，其特征在于，所述二维平台包括第一驱动装置、第二驱动装置、X平台、Y平台和底板；所述X平台通过滑轨和底板，X平台和Y平台通过第二滑轨连接；第一驱动装置固定设置在底板，且和X平台连接；所述第二驱动装置固定设置在X平台，且Y平台。

5.根据权利要求4所述的一种全光谱薄膜厚度测量仪，其特征在于，所述第一驱动装置和第二驱动装置均采用高精度丝杆传动装置，并且采用步进电机作用动力的输入源。

6.根据权利要求1所述的一种全光谱薄膜厚度测量仪，其特征在于，所述检测系统还包括壳体，所述全光谱光谱仪、二维平台控制板、氘卤组合灯电源模块、风扇、步进电机驱动器和氘卤组合灯均设置在壳体内侧。

7.根据权利要求1所述的一种全光谱薄膜厚度测量仪，其特征在于，所述数据线采用db9接头。