[实用新型]一种小尺寸掩膜版居中性测量检查装置

权利要求书

1.小尺寸掩膜版居中性测量检查装置，其特征在于，包括设于光刻机平台(1)上的定位件(2)和三组传感器(3)，所述定位件(2)上设有L型直角卡槽与掩膜版(4)的直角边适配接触，其中一组传感器(3)用于测量掩膜版(4)的直角顶点位置信息，另外两组传感器(3)分别用于测量掩膜版(4)在沿L型直角卡槽的两条直角边延伸方向上的移动位置信息。

2.根据权利要求1所述的小尺寸掩膜版居中性测量检查装置，其特征在于，所述传感器(3)采用激光测距仪，定位件(2)上的L型直角卡槽的两条直角边与光刻机平台(1)一侧直角处的两条直角边平行；第一组激光测距仪设于光刻机平台(1)上的一条直角边上，用于测量掩膜版(4)直角顶点到激光测距仪所在直角边的直线距离；另外两组激光测距仪分别用于测量掩膜版(4)沿L型直角卡槽的两条直角边延伸方向上的移动距离信息。

3.根据权利要求1或2任一项所述的小尺寸掩膜版居中性测量检查装置，其特征在于，还包括控制电脑(5)，所述控制电脑(5)与三组传感器(3)电性连接，三组传感器(3)将检测信息实时传送至控制电脑(5)。

4.根据权利要求3所述的小尺寸掩膜版居中性测量检查装置，其特征在于，还包括报警器，在掩膜版(4)位置超出设定范围时，控制电脑(5)控制报警器发出报警信息。

5.根据权利要求1所述的小尺寸掩膜版居中性测量检查装置，其特征在于，所述定位件(2)通过胶水层粘附固定在光刻机平台(1)上。

6.根据权利要求1所述的小尺寸掩膜版居中性测量检查装置，其特征在于，所述定位件(2)是呈L型的板或杆结构。