[实用新型]一种真空装置有效
| 申请号： | 201920127074.X | 申请日： | 2019-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN209389060U | 公开（公告）日： | 2019-09-13 |
| 发明（设计）人： | 杨娅;刘丽梅;曾繁春 | 申请（专利权）人： | 深圳连硕自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/48 | 分类号： | H01L33/48 |
| 代理公司： | 深圳市添源知识产权代理事务所(普通合伙) 44451 | 代理人： | 罗志伟 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 通孔 第二腔室 第一腔室 真空装置 本实用新型 第二管道 第一管道 上腔体 水平管 下腔体 支架 连通 等压 垂直管 真空泵 上端 底端 合格率 生产 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空装置，其特征在于：包括支架，所述支架上从下至上依次设有下腔体、平台和上腔体，所述下腔体与所述平台底端形成第一腔室，所述平台上端与所述上腔体形成第二腔室，所述第一腔室设有第一通孔，所述第一通孔处设有第一管道，所述第二腔室设有第二通孔，所述第二通孔处设有T型管道，所述T型管道的水平管一端与所述第二通孔连通，所述水平管的另一端设有第二管道，所述T型管道的垂直管与所述第一管道另一端连通，所述第二管道的另一端设有真空泵。
2.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，所述第一管道与所述竖直管的连通处设有压力调节阀。
3.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，所述第二通孔与所述水平管通过连接管连通。
4.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，所述下腔体与所述平台之间设有第一密封圈。
5.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，所述平台与所述上腔体之间设有第二密封圈。
6.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，所述第一通孔设置在所述下腔体底端中部，所述第二通孔设置在所述上腔体一侧。
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