[实用新型]一种半导体功率器件键合丝拉断力测试装置

权利要求书

1.一种半导体功率器件键合丝拉断力测试装置，包括控制盒（1），其特征在于，在所述控制盒（1）正面设有丝杆模组（2），在所述丝杆模组（2）的丝杆上套有滑块（4），在所述滑块（4）上通过固定夹具（5）固定用于测试键合丝拉断力的第一测力计（6）和第二测力计（7），在所述丝杆模组（2）顶端装有步进电机（3），所述第一测力计（6）和第二测力计（7）末端均悬挂有用于钩住键合丝（16）的丝钩（8）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体功率器件键合丝拉断力测试装置，其特征在于，在所述丝杆模组（2）的丝杆上端设有上限位开关（13）、下端设有下限位开关（14），所述滑块（4）可与上限位开关（13）、下限位开关（14）接触触发。

3.根据权利要求2所述的一种半导体功率器件键合丝拉断力测试装置，其特征在于，在所述控制盒（1）正面设有正反转开关（9），在所述控制盒（1）内部设有脉冲发生器（10）、与所述脉冲发生器（10）连接的步进驱动器（11）、开关电源（12），所述开关电源（12）分别与脉冲发生器（10）、步进驱动器（11）连接，所述步进驱动器（11）与步进电机（3）连接，所述上限位开关（13）、下限位开关（14）及正反转开关（9）均与脉冲发生器（10）连接。

4.根据权利要求3所述的一种半导体功率器件键合丝拉断力测试装置，其特征在于，所述开关电源（12）为24V电源，所述开关电源（12）的L端、N端分别接市电220V的火线、零线；+A、-A端口分别与脉冲发生器（10）的V+、V-端口连接，同时+A、-A端口分别与步进驱动器（11）的V+、GND端口连接。

5.根据权利要求3所述的一种半导体功率器件键合丝拉断力测试装置，其特征在于，所述脉冲发生器（10）的ENA-端口为使能信号输出端口，DIR-端口为方向信号输出端口，PUL-端口为脉冲信号输出端口，所述脉冲发生器（10）的ENA-、DIR-、PUL-端口分别连接到步进驱动器（11）对应的ENA-、DIR-、PUL-端口；所述脉冲发生器（10）的5V端口连接到步进驱动器（11）的PUL+、DIR+、ENA+端口，为步进驱动器（11）的PUL、DIR、ENA端提供共阳电源，所述脉冲发生器（10）的公共COM端分别接到正反转开关（9）的中央公共端、上限位开关（13）的一端、下限位开关（14）的一端；所述脉冲发生器（10）的SW1端为正转触发端，且连接到正反转开关（9）上侧ON端，SW2端为反转触发端，且连接到正反转开关（9）下侧ON端，SW3端为正转限位端，且连接到上限位开关（13）的另一端，SW4端为反转限位端，且连接到下限位开关（14）的另一端；脉冲发生器（10）的AD3为调速电位计，用于调节步进电机（3）的转速。

6.根据权利要求3所述的一种半导体功率器件键合丝拉断力测试装置，其特征在于，所述步进驱动器（11）的A+、A-、B+、B-端连接两相四线步进电机（3）。

7.根据权利要求1所述的一种半导体功率器件键合丝拉断力测试装置，其特征在于，在所述滑块（4）内侧设有内螺纹，在所述丝杆模组（2）的丝杆上设有与所述内螺纹相配合的外螺纹，所述滑块（4）通过内螺纹与外螺纹配合在丝杆模组（2）的丝杆上滑动。