[实用新型]真空室气体引入系统

权利要求书

1.一种真空室气体引入系统，其特征在于，包括真空室侧壁、封盖和转接机构，所述真空室侧壁围成腔体，所述封盖与所述真空室侧壁盖设适配，所述转接机构密封安装在所述真空室侧壁内侧；所述转接机构包括转接本体，所述转接本体内部设有变向通道，所述变向通道的第一端口与所述真空室侧壁密封连接，所述变向通道的第二端口与所述封盖的内侧壁密封连接，所述第一端口与设置在所述真空室侧壁外侧的外部引入接头对接，所述第二端口与设置在所述封盖外侧的外部引出接头对接，所述外部引出接头与转接管路的一端连接，所述转接管路的另一端与所述腔体连通。

2.如权利要求1所述的真空室气体引入系统，其特征在于，所述变向通道为直角变向通道，包括垂直连通的第一通道和第二通道，所述第一通道与所述真空室侧壁垂直，所述第二通道与所述封盖垂直。

3.如权利要求2所述的真空室气体引入系统，其特征在于，所述第一通道的第一端口的外周面设有内密封圈和外密封圈，所述内密封圈设置在所述外密封圈的内侧。

4.如权利要求2所述的真空室气体引入系统，其特征在于，所述真空室侧壁设有通孔，所述通孔的中轴线与所述第一通道的中轴线重合，所述外部引入接头通过所述通孔与所述第一通道导通。

5.如权利要求2所述的真空室气体引入系统，其特征在于，所述第二通道内设有转接头，所述转接头设有环形凸台，所述第二通道内靠近所述第二端口处设有与所述环形凸台安装适配的限位台。

6.如权利要求5所述的真空室气体引入系统，其特征在于，所述环形凸台与所述限位台之间设有第一密封圈和密封垫，所述转接头的上端面设有第二密封圈，自然状态下所述转接头的上端面高于所述真空室侧壁的上端面，使所述第二密封圈与所述封盖自重下压密封适配。

7.如权利要求6所述的真空室气体引入系统，其特征在于，所述第二端口外侧盖设密封压盖，所述密封压盖设有穿孔，所述穿孔的直径与所述转接头的直径相同，所述转接头可在所述穿孔内上下移动。

8.如权利要求7所述的真空室气体引入系统，其特征在于，所述密封压盖通过固定螺钉固定在所述转接本体上。

9.如权利要求1所述的真空室气体引入系统，其特征在于，所述转接本体通过安装螺钉安装在所述真空室侧壁内侧。

10.如权利要求1所述的真空室气体引入系统，其特征在于，所述封盖的内侧设有布气板，所述转接管路通过外部引入密封系统与所述布气板连接。