[实用新型]液流超声复合辅助激光清洗光学元件的装置

权利要求书

1.一种液流超声复合辅助激光清洗光学元件的装置，其特征在于：包括激光清洗模块和液流超声复合辅助模块，所述液流超声复合辅助模块包括超声振动发生组件和水幕发生组件；

所述超声振动发生组件包括能够固定光学元件(12)的超声振动台(10)以及用于使超声振动台(10)发生超声振动的超声波发生器(11)，所述水幕发生组件包括共同构成水路循环的水源储存箱(7)、水幕发生器(13)以及设置在水源储存箱(7)出水口和水幕发生器(13)进水口之间的水源净化器(14)，所述超声振动台(10)竖向安装在水幕发生器(13)上，且位于水幕发生器(13)水幕出水口的正下方，以使水幕(A)能够流经超声振动台(10)上的光学元件(12)；

所述激光清洗模块包括激光器(1)，该激光器(1)激发的激光聚焦在水幕(A)以及光学元件(12)上。

2.根据权利要求1所述的液流超声复合辅助激光清洗光学元件的装置，其特征在于：所述水幕发生器(13)包括竖向安装在水源储存箱(7)顶部的安装支架(13a)和横向安装在安装支架(13a)顶部的水幕发生器本体(13b)，所述水幕发生器本体(13b)位于水源储存箱(7)的上方，并用于产生水幕(A)，所述超声振动台(10)竖向安装在安装支架(13a)上。

3.根据权利要求2所述的液流超声复合辅助激光清洗光学元件的装置，其特征在于：所述超声振动台(10)通过二维移动平台(8)安装在安装支架(13a)上，并能够在步进电机(9)的驱动下调整超声振动台(10)在竖直平面上的位置。

4.根据权利要求1所述的液流超声复合辅助激光清洗光学元件的装置，其特征在于：在所述超声振动台(10)上设置有用于定位光学元件(12)、并能够向光学元件(12)传递超声波振动的工装夹具。

5.根据权利要求1所述的液流超声复合辅助激光清洗光学元件的装置，其特征在于：所述激光清洗模块还包括分光器(2)、能量计(4)和聚焦透镜(6)，所述激光器(1)激发的激光由分光器(2)分为探针光和主激光，其中，探针光射入能量计(4)中，并由能量计(4)记录，主激光经聚焦透镜(6)聚焦到水幕(A)以及光学元件(12)上。

6.根据权利要求5所述的液流超声复合辅助激光清洗光学元件的装置，其特征在于：在所述分光器(2)和聚焦透镜(6)之间设置有扩束器(5)，由分光器(2)射出的主激光经扩束器(5)扩束后再射向聚焦透镜(6)。

7.根据权利要求5所述的液流超声复合辅助激光清洗光学元件的装置，其特征在于：在所述激光器(1)中设置有准直激光器，该准直激光器发出的准直光束与分光器(2)射出的主激光的传播路径重合。

8.根据权利要求5所述的液流超声复合辅助激光清洗光学元件的装置，其特征在于：所述能量计(4)通过光纤连接有能量计探头(3)，所述分光器(2)射出的探针光经能量计探头(3)引入能量计(4)中。