[实用新型]一种高性能低温泵结构

说明书

本实用新型涉及一种高性能低温泵结构，其包括腔体，腔体的中心位置设置有双级制冷机，双级制冷机包括支撑管、一级冷头和二级冷头，一级冷头和二级冷头依次设置在支撑管上，支撑管插入到腔体内，并且一级冷头和二级冷头均位于腔体内，腔体的上部开口，所述腔体内由上向下依次设置有导流组件、冷却组件和隔离桶，所述冷却组件包括第一冷却桶、第二冷却桶和第三冷却桶；第一冷却桶、第二冷却桶和第三冷却桶依次减小，第一冷却桶、第二冷却桶和第三冷却桶依次套设，第一冷却桶、第二冷却桶和第三冷却桶的内壁上设置有活性炭层。本实用新型具有较高的吸附效率的效果。

技术领域

本实用新型涉及一种低温泵的技术领域，尤其是涉及一种高性能低温泵结构。

背景技术

低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。

在低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板。它使气体凝结，并保持凝结物的蒸汽压力低于泵的极限压力，从而达到抽气作用。低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。低温冷凝：气体分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的气体层上，其平衡压力基本上等于冷凝物的蒸气压。抽空气时，冷板温度必须低于25K；抽氢时，冷板温度更低。低温冷凝抽气冷凝层厚度可达10毫米左右。低温吸附：气体分子以一个单分子层厚被吸附到涂在冷板上的吸附剂表面上。吸附的平衡压力比相同温度下的蒸气压力低得多。如在20K时氢的蒸气压力等于大气压力，用20K的活性炭吸氢时吸附平衡压力则低于10-8帕。这样就可能在较高温度下通过低温吸附来进行抽气。低温捕集：在抽气温度下不能冷凝的气体分子，被不断增长的可冷凝气体层埋葬和吸附。

现技术中的低温泵，包括设置在顶端的法兰，与法兰连接的腔体、与腔体下端连接的制冷机，设置在腔体内部的圆盘式气体吸附组件。由于圆盘式气体吸附组件粘结活性炭或其它吸附剂数量较少。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种高性能低温泵结构，其具有较高的吸附效率的效果。

本实用新型的上述发明目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种高性能低温泵结构，包括腔体，腔体的中心位置设置有双级制冷机，双级制冷机包括支撑管、一级冷头和二级冷头，一级冷头和二级冷头依次设置在支撑管上，支撑管插入到腔体内，并且一级冷头和二级冷头均位于腔体内，腔体的上部开口，所述腔体内由上向下依次设置有导流组件、冷却组件和隔离桶，所述冷却组件包括第一冷却桶、第二冷却桶和第三冷却桶；第一冷却桶、第二冷却桶和第三冷却桶依次减小，第一冷却桶、第二冷却桶和第三冷却桶依次套设，第一冷却桶、第二冷却桶和第三冷却桶的内壁上设置有活性炭层。

通过采用上述技术方案，使用时，第一冷却桶、第二冷却桶和第三冷却桶依次套设置在一起，并且二级冷头位于第三冷却桶上，二级冷头对第一冷却桶、第二冷却桶和第三冷却桶进行降温，第一冷却桶、第二冷却桶和第三冷却桶的内壁上均设置有活性炭层，由于第一冷却桶、第二冷却桶和第三冷却桶的侧壁的面积较大，从而设置有活性炭层的量较大，从而能够提高吸附效率，同时第一冷却桶、第二冷却桶和第三冷却桶分别对外层的热进行隔离，从而在第三冷却桶内的温度更容易控制在较低的温度，进一步通过温度降低提高吸附的效率。

本实用新型进一步设置为：所述第三冷却桶的内壁上设置有凸棱，凸棱沿着第三冷却桶的周向上均匀设置有多个，所述活性炭层位于凸棱上。

通过采用上述技术方案，凸棱设置在第三冷却桶的内壁上，由于凸棱形成的第三冷却桶的内壁面积加大，从而进一步提高活性炭层的面积。

本实用新型进一步设置为：多个所述凸棱形成波浪曲线。

通过采用上述技术方案，波浪曲线形式的多个凸棱，能够使凸棱上的活性炭层接触气体分子的概率更加接近，从而利用效率相同。