[实用新型]一种低温泵结构

说明书

本实用新型涉及一种低温泵结构，其包括腔体，所述腔体内由上向下依次设置有导流组件、冷却组件和隔离桶，腔体的上部设置有法兰，所述法兰上连接有盲板，盲板与法兰之间设置有固定装置，固定装置卡在法兰与盲板相背的表面上，所述法兰周向上均匀设置有多个固定装置。本实用新型具有保护腔体内比较清洁的效果。

技术领域

本实用新型涉及一种低温泵的技术领域，尤其是涉及一种低温泵结构。

背景技术

低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。

在低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板。它使气体凝结，并保持凝结物的蒸汽压力低于泵的极限压力，从而达到抽气作用。低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。低温冷凝：气体分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的气体层上，其平衡压力基本上等于冷凝物的蒸气压。抽空气时，冷板温度必须低于25K；抽氢时，冷板温度更低。低温冷凝抽气冷凝层厚度可达10毫米左右。低温吸附：气体分子以一个单分子层厚被吸附到涂在冷板上的吸附剂表面上。吸附的平衡压力比相同温度下的蒸气压力低得多。如在20K时氢的蒸气压力等于大气压力，用20K的活性炭吸氢时吸附平衡压力则低于10-8帕。这样就可能在较高温度下通过低温吸附来进行抽气。低温捕集：在抽气温度下不能冷凝的气体分子，被不断增长的可冷凝气体层埋葬和吸附。

现技术中的低温泵，包括设置在顶端的法兰，与法兰连接的腔体、与腔体下端连接的制冷机，设置在腔体内部的圆盘式气体吸附组件。但是这样的结构中由于法兰处开口，在安装前容易进入到腔体内污染物。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种低温泵结构，其具有保护腔体内比较清洁的效果。

本实用新型的上述发明目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种低温泵结构，包括腔体，所述腔体内由上向下依次设置有导流组件、冷却组件和隔离桶，腔体的上部设置有法兰，所述法兰上连接有盲板，盲板与法兰之间设置有固定装置，固定装置卡在法兰与盲板相背的表面上，所述法兰周向上均匀设置有多个固定装置。

通过采用上述技术方案，使用时，盲板盖在腔体上的法兰上，并通过固定装置固定在腔体上，盲板能够在使腔体在运输过程中保持封闭，防止对腔体内造成污染，同时固定装置能够在后期与法兰连接时使用，并且在安装法兰时，法兰通过固定装置安装在法兰的周向上，对法兰的制造精度要求低，安装的角度容易调节。

本实用新型进一步设置为：所述固定装置包括连接件一和连接件二，连接件一上开设有通孔，连接件二上设置有螺柱，螺柱配合插入到通孔内并螺纹连接有螺母，连接件一上设置有钩部一，连接件二上设置有钩部二，钩部一和钩部二沿着螺柱的横向截面相对设置，所述钩部一和钩部二分别钩在法兰和盲板相背的表面上。

通过采用上述技术方案，连接件二上设置螺柱，螺柱穿过通孔并通过螺母螺纹连接，在钩部一钩在盲板上，钩部二钩在法兰上时，螺母使钩部一和钩部二相对靠近，从而使固定装置将盲板固定在法兰上。

本实用新型进一步设置为：所述连接件一上开设有滑槽，滑槽的长度方向与螺柱的长度方向相同，连接件二为杆状且连接件二的横截面为矩形，连接件二的一端插入滑槽内。

通过采用上述技术方案，连接件一上开设滑槽，滑槽上的长度方向与螺柱的长度方向相同，从而使连接件二在插入到滑槽内时，连接件一与连接件二的连接结构比较稳定，强度比较大。

本实用新型进一步设置为：所述盲板背向法兰的一面沿着盲板的边缘设置有凸台一，法兰背向盲板的一面边缘设置有凸台二。