[实用新型]一种单镜头反射式倾斜方向观察装置

说明书

本实用新型公开了一种单镜头反射式倾斜方向观察装置，包括依次连接的显示器、图像获取装置和镜头，所述镜头朝下，镜头正下方沿轴心方向安装两块相互成九十度的全反射光学镜片，每块全反射光学镜片的法线均与水平方向成45°，与各全反射光学镜片一一对应地对称设置从属全反射光学镜片，从属全反射光学镜片的法线倾斜向下22.5°。本实用新型的有益效果是：利用倾斜的全反射光学镜片以及从属全反射光学镜片将光路一分二或一分为多，从而实现同时多角度观察；只采用一个镜头、一台图像获取装置和一台显示器，节约了大量的设备配置成本，节省了设备占用空间；单镜头对其下方的待测对象进行垂直观察。

技术领域

本实用新型涉及一种单镜头反射式倾斜方向观察装置，属于光学设备技术领域。

背景技术

我国是制造工业大国，随着我国技术水平发展，制造行业越来越往精细化、高密度化发展(如电子工业、半导体工业、MEMS微制造行业)，与之对应的检测要求也越来越高。在检测过程中，常常要对一些微小器件、微型沟槽、微型凸台、微细圆孔的侧壁表面的加工质量进行评价。

常规的检测手段是用多个镜头对准侧壁的每一面进行观测。如，检测两个侧面，需要两个倾斜镜头对准对应的侧面，检测3、4个侧面以此类推……。这样导致所需安装空间增大，检测设备制造成本增加，并且不同的镜头需要不同显示器展示图像，会导致检测人员需要同时观察多个显示器，工作量增加。

实用新型内容

本实用新型的发明目的在于：针对上述存在的问题，提供一种单镜头反射式倾斜方向观察装置，以减少检测设备，降低成本，减少检测人员的工作量。

本实用新型采用的第一个技术方案：一种单镜头反射式倾斜方向观察装置，包括依次连接的显示器、图像获取装置和镜头，所述镜头朝下，镜头正下方沿轴心方向安装两块相互成九十度的全反射光学镜片，每块全反射光学镜片的法线均与水平方向成45°，与各全反射光学镜片一一对应地对称设置从属全反射光学镜片，从属全反射光学镜片的法线倾斜向下22.5°。

本实用新型的第二个技术方案：一种单镜头反射式倾斜方向观察装置，包括依次连接的显示器、图像获取装置和镜头，所述镜头朝下，镜头正下方沿轴心方向安装至少三块全反射光学镜片，形成多棱锥反射镜或圆锥反射镜，每块全反射光学镜片的法线均与水平方向成45°，与各全反射光学镜片一一对应地对称设置从属全反射光学镜片，从属全反射光学镜片的法线倾斜向下22.5°。

由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

1、利用倾斜的全反射光学镜片以及从属全反射光学镜片将光路一分二或一分为多，从而实现同时多角度观察；

2、只采用一个镜头、一台图像获取装置和一台显示器，节约了大量的设备配置成本，节省了设备占用空间；

3、单镜头对其下方的待测对象进行垂直观察，但实际上可以同时观察到待测对象的顶面和侧面。

对上述两个技术方案进行优选，各从属全反射光学镜片安装在一个固定式安装架上，从而实现对不同位置的灵活观察，从而提升检测效率。

对上述两个技术方案进行优选，所述显示器对所采集图像信号进行分屏显示。

附图说明

图1是本实用新型实施例1的原理示意图。

图中标记：1为待测部位，2为第一从属反射镜，3为第二从属反射镜，4为第二反射镜，5为第一反射镜，6为镜头，7为图像获取装置，8为显示器。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型作详细的说明。

实施例1：