[实用新型]一种硅片夹持机构

说明书

本实用新型公开了一种硅片夹持机构，包括驱动箱、中心转杆和顶块，驱动箱内设有中心转杆，驱动箱通过转轴转动连接有中心转杆，中心转杆的一端穿过驱动箱转动连接有顶块，顶块的四个侧边分别焊接有一个滑杆，四个滑杆分别套接有一个滑套，滑套的上侧均焊接有夹板，滑套的下侧均焊接有圆杆，本实用新型通过设置驱动齿轮、从动齿轮、一号驱动杆和二号驱动杆，单次可驱动中心转杆转动恒定角度，可同时缩短四个夹板与顶块之间的距离，可从硅片四个侧边将硅片夹紧，固定效果极好，方便了硅片的加工流程，且驱动齿轮螺丝固定在伺服电机的输出端，更换不同啮齿长度的驱动齿轮可改变夹持尺寸。

技术领域

本实用新型涉及夹持机构，特别涉及一种硅片夹持机构，属于硅片加工设备技术领域。

背景技术

硅片加工过程中，需要用到多种夹持模具，以方便硅片的打磨、倒角和抛光处理等流程，然而硅片夹持模具的制作成本较高，单个硅片夹持模具不具有多用性，给硅片的加工流程带来了不必要的麻烦。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷而提供，通过设置驱动齿轮、从动齿轮、一号驱动杆和二号驱动杆，解决了单个硅片夹持模具不具有多用性，给硅片的加工流程带来了不必要的麻烦的问题。

实现上述目的的技术方案是：

一种硅片夹持机构，包括驱动箱、中心转杆和顶块，所述驱动箱内设有中心转杆，所述驱动箱通过转轴转动连接有中心转杆，所述中心转杆的一端穿过驱动箱转动连接有顶块，所述顶块的四个侧边分别焊接有一个滑杆，四个所述滑杆分别套接有一个滑套，所述滑套的上侧均焊接有夹板，所述滑套的下侧均焊接有圆杆，所述驱动箱内部螺丝固定有伺服电机，所述伺服电机的输出端螺丝固定有驱动齿轮，所述中心转杆位于驱动箱内的部分套接有从动齿轮，所述中心转杆外侧且位于顶块和驱动箱之间套接有一号驱动杆和二号驱动杆，所述一号驱动杆的两端分别转动连接有一个一号连杆，所述二号驱动杆的两端分别转动连接有一个二号连杆，两个所述一号连杆分别与两个圆杆转动连接，两个所述二号连杆分别与另外两个圆杆转动连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述驱动齿轮与从动齿轮啮合连接，所述驱动齿轮为不完全齿轮。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述一号驱动杆和二号驱动杆位于不同平面，所述一号驱动杆和二号驱动杆相互垂直。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述滑杆的横截面为矩形，所述滑杆与滑套滑动连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述驱动箱的一侧螺丝固定有PLC (可编程逻辑控制器)控制器，所述PLC控制器的一侧嵌设有控制面板，所述伺服电机与PLC控制器电性连接，所述PLC控制器为S7-200型号的PLC控制器。

本实用新型的有益效果是：本实用新型通过设置驱动齿轮、从动齿轮、一号驱动杆和二号驱动杆，单次可驱动中心转杆转动恒定角度，可同时缩短四个夹板与顶块之间的距离，可从硅片四个侧边将硅片夹紧，固定效果极好，方便了硅片的加工流程，且驱动齿轮螺丝固定在伺服电机的输出端，更换不同啮齿长度的驱动齿轮可改变夹持尺寸，适用广泛，避免了硅片加工过程中需要制备各种夹持模具的麻烦。

附图说明

图1是本实用新型的侧面剖视图；

图2是本实用新型的俯视图；

图3是图1沿A-A方向的剖视图；

图4是本实用新型顶块与滑杆的连接结构示意图；

图5是图1沿B-B方向的剖视图；

图6是本实用新型驱动齿轮和从动齿轮的连接示意图。