[实用新型]一种真空阀及抽真空装置

权利要求书

1.一种真空阀，包括壳体、气流换向机构，其特征在于：所述壳体中具有腔室单元，该腔室单元包括第一腔室、第二腔室和第三腔室，第一腔室设有进气口，第二腔室设有出气口，第三腔室与外部连通，第二腔室位于第一腔室和第三腔室之间，且第二腔室与第一腔室之间具有第一连通口，第二腔室与第三腔室之间具有第二连通口；所述气流换向机构包括直线驱动机构、密封件，密封件位于第二腔室中，直线驱动机构的输出端连接该密封件，以驱使该密封件运动而关闭所述第一连通口或第二连通口。

2.根据权利要求1所述的真空阀，其特征在于：所述直线驱动机构为气缸。

3.根据权利要求1或2所述的真空阀，其特征在于：所述直线驱动机构安装于所述壳体，且该直线驱动机构的输出端穿过所述第三腔室及第二连通口进入所述第二腔室中。

4.根据权利要求1所述的真空阀，其特征在于：所述腔室单元、气流换向机构的数量均为两个，且两腔室单元与两气流换向机构一一对应。

5.根据权利要求4所述的真空阀，其特征在于：所述两腔室单元的第一腔室相互连通。

6.根据权利要求1或4或5所述的真空阀，其特征在于：所述腔室单元的第一腔室、第二腔室和第三腔室由设置于所述壳体中的两隔板分隔而成，且其中一隔板设有所述第一连通口，另一隔板设有所述第二连通口。

7.根据权利要求1所述的真空阀，其特征在于：所述第一腔室与外部连通的开口设有过滤网，和/或，所述进气口的数量为至少两个。

8.根据权利要求1所述的真空阀，其特征在于：所述壳体上设有若干安装柱，和/或，所述密封件为密封垫。

9.一种抽真空装置，包括真空泵，其特征在于：还包括如权利要求1-8中任一项所述的真空阀，所述真空泵的进气口接通所述第二腔室的出气口。

10.根据权利要求9所述的抽真空装置，其特征在于：所述第一腔室的进气口通过管道连接有吸盘；所述真空泵的数量与所述腔室单元的数量一致，且一一对应。