[实用新型]一种装炉方式稳定的热解氮化硼舟

说明书

本实用新型涉及一种装炉方式稳定的热解氮化硼舟，属于PBN舟生产设备技术领域，包括石墨盘、底座和用于约束舟模具的夹具，所述石墨盘固定于炉内的平面上，所述石墨盘为圆盘，所述石墨盘的中部设置有进气孔，所述石墨盘上均匀设置有多个第一孔洞，一个底座固定于一个第一孔洞内，所述底座上方螺纹连接所述夹具。本实用新型，可以保证整个装炉方式的稳定性，有效避免舟出现波浪状和开裂的情况。

技术领域

本实用新型涉及一种装炉方式稳定的热解氮化硼舟，属于PBN舟生产设备技术领域。

背景技术

热解氮化硼舟(PBN舟)用于高温区的反应容器，主要用于砷化镓多晶合成领域，PBN舟放在石英管内使用，与石英管配合紧密不晃动，所以PBN舟不允许出现波浪状，在使用过程中如果出现PBN舟开裂的情况，PBN舟的使用寿命也会大大降低。目前PBN舟用现有装炉方式生产出现波浪状和开裂情况的比例达到30％以上，这严重影响PBN舟的合格率和使用寿命。

PBN舟现有的装炉方式是用旋转杆、底座和夹具的组合来进行固定，底座通过圆柱销与旋转杆进行连接，旋转杆由于自身需要转动，旋转杆与反应室之间会有缝隙，底座与旋转杆之间的配合不易过紧，过紧会造成底座在拆卸时摩擦掉粉，故底座与旋转杆之间也会有缝隙，旋转杆与底座之间采用圆柱销连接，同样也会产生缝隙，舟模具与夹具之间用螺丝固定，不同部位的配合都有缝隙，由于配合间隙过大，常常会导致舟模具的倾斜，相邻的两个舟模具之间的距离就会缩小，这会严重影响气体的沉积过程，最终生产出来的PBN舟出现波浪和开裂的机率会非常高，因此，亟需寻求一种 PBN舟新的装炉方式来解决舟模具倾斜的问题，同时又不会影响PBN舟的沉积过程，且操作简易、方便。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供一种装炉方式稳定的热解氮化硼舟，可以保证整个装炉方式的稳定性，有效避免舟出现波浪状和开裂的情况。

术语解释：PBN(热解氮化硼)是特种陶瓷材料，热解氮化硼的沉积过程，宛如“落雪”：氮化硼的六角型小雪片，一片一片的平行地落在石墨基体材料上，达到一定厚度后，最终冷却脱模而制成。

本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供一种装炉方式稳定的热解氮化硼舟，包括石墨盘、底座和用于约束舟模具的夹具，所述石墨盘固定于炉内的平面上，炉内设置有平面，由于石墨盘重量较大，可直接放置于炉内的平面上，即可保证不晃动；所述石墨盘为圆盘，所述石墨盘的中部设置有进气孔，在制备PBN舟时，气体原材料(热解氮化硼等)可通过该进气孔进入反应腔室，所述石墨盘上均匀设置有多个第一孔洞，一个底座固定于一个第一孔洞内，所述底座上方螺纹连接所述夹具。

优选的，所述夹具上设置有上下两个第一螺栓孔，所述舟模具上设置有与所述第一螺栓孔相配合的第二螺栓孔，第一螺栓孔和第二螺栓孔通过螺栓紧固，可很好地将舟模具固定于夹具上，舟模具固定后为竖直方向的，其开口朝向石墨盘中部的进气孔，一个夹具可以约束一个舟模具，本发明的石墨盘可同时放置多个底座和夹具，可使同一批次得到的PBN舟的厚度均匀，有效避免出现波浪状和开裂的情况。

优选的，多个第一孔洞均匀分布于所述石墨盘的圆周内部，每个第一孔洞内均可放置一个底座。

优选的，所述石墨盘的直径为300～800mm，厚度为1～100mm，所述第一孔洞均为圆孔，圆孔的直径为20～200mm，所述第一孔洞的数量为1～10个。

优选的，所述底座包括一圆柱座，所述圆柱座下方设置有一圆柱凸起，所述圆柱凸起的尺寸与所述第一孔洞的尺寸相匹配，所述圆柱座的直径大于所述第一孔洞的直径，安装时，底座的圆柱凸起插入第一孔洞内，圆柱座卡在第一孔洞上方，所述圆柱座上设置有多个第一固定孔，所述石墨盘上沿所述第一孔洞周围设置有与所述第一固定孔相配合的第二固定孔，第一固定孔与第二固定孔之间采用石墨螺栓连接固定，可防止多次使用出现磨损以及保证底座下端与第一孔洞的相对位置不发生变化。