[实用新型]一种VAD芯棒沉积用燃烧器反应稳定性控制装置

说明书

本实用新型公开了一种VAD芯棒沉积用燃烧器反应稳定性控制装置，包括气柜、蒸发箱、第二载气管路、混合气体管路、燃烧器、反应釜，气柜和燃烧器之间用至少一条第一载气管路相连，蒸发箱连接有原料气体管路，燃烧器和反应釜相连，反应釜内设有产品，第二载气管路上设有加热区，加热区内设有第一温度传感器，第二载气管路两端分别和气柜、原料气体管路相连，混合气体管路上设有第二温度传感器和第三温度传感器，混合气体管路的前端与第二载气管路和原料气体管路之间的混合连接处相连，混合气体管路的后端和燃烧器相连。本实用新型具有气体输送稳定不易液化，加热效果好，气体在燃烧器中反应的均匀性稳定性好等优点。

【技术领域】

本实用新型涉及VAD芯棒沉积装置的技术领域，特别是一种VAD芯棒沉积用燃烧器反应稳定性控制装置的技术领域。

【背景技术】

VAD芯棒沉积用原料主要是常温为液态的SiCl4及GeCl4，液态原料通过管路输送至蒸发箱中，液态原料在蒸发箱中汽化，汽化后的原料在蒸发箱中经过高温流量控制器控制并按一定的流量稳定地输送出蒸发箱。VAD芯棒沉积用载料气体主要是H2、O2、Ar、CF4等，一般一台VAD芯棒沉积设备需要用的载料气体路数大于等于16路，H2、O2、Ar、CF4等气体通过管路输送进气柜中，在气柜中分流，并经流量控制器控制后按一定的流量稳定输送出气柜，所有的原料及气体最终需要输送至燃烧器中进行反应，然后成品沉积在产品中，反应釜为原料及气体反应、产品沉积提供空间。现有的一些VAD芯棒沉积用燃烧器反应稳定性控制装置中的原料气体温度传感器设计在原料管路中间，载料气体温度传感器设计在载料管路中间，混合气体温度传感器设计在混合气体管路中间，载料气体管路过短，这种结构设计会存在载料气体混合前温度无法确定，会出现原料气体液化现象，无法保证燃烧器反应的稳定性和均匀性，载料气体加热不充分等问题。

【发明内容】

本实用新型的目的就是解决现有技术中的问题，提出一种VAD芯棒沉积用燃烧器反应稳定性控制装置，能够使气体输送稳定不易液化，加热效果好，气体在燃烧器中反应的均匀性稳定性好。

为实现上述目的，本实用新型提出了一种VAD芯棒沉积用燃烧器反应稳定性控制装置，包括气柜、蒸发箱、第二载气管路、混合气体管路、燃烧器、反应釜，气柜和燃烧器之间用至少一条第一载气管路相连，所述蒸发箱连接有原料气体管路，所述燃烧器和反应釜相连，反应釜内设有产品，所述第二载气管路上设有加热区，加热区内设有第一温度传感器，所述第二载气管路两端分别和气柜、原料气体管路相连，所述混合气体管路上设有第二温度传感器和第三温度传感器，混合气体管路的前端与第二载气管路和原料气体管路之间的混合连接处相连，混合气体管路的后端和燃烧器相连。

作为优选，所述加热区的长度不低于1.6m，所述第一温度传感器距离第二载气管路和原料气体管路之间的混合连接处45～200mm。

作为优选，所述第二温度传感器距离第二载气管路和原料气体管路之间的混合连接处45～200mm。

作为优选，所述第三温度传感器和燃烧器之间的距离控制在45～200mm。

作为优选，所述混合气体管路的长度不低于1m，所述原料气体管路伸出蒸发箱后立即与第二载气管路相连通。

作为优选，所述加热区上远离气柜的一端敷设至第二载气管路和原料气体管路之间的混合连接处为止。

作为优选，所述第三温度传感器检测温度、第二温度传感器检测温度、第一温度传感器检测温度、蒸发箱内温度依次减小。