[实用新型]一种分体式工艺载板及应用其的真空镀膜装置

权利要求书

1.一种分体式工艺载板，其特征在于，包括石墨载板，所述石墨载板由多个石墨载板单元拼接构成；

每两相邻的石墨载板单元的拼接处均设有相互匹配的拼接结构。

2.根据权利要求1所述的分体式工艺载板，其特征在于，

所述拼接结构包括分别设置于相邻两所述石墨载板单元上的上阶梯形连接边和下阶梯形连接边；

所述上阶梯形连接边和下阶梯形连接边叠加拼合后的厚度与所述相邻两个石墨载板单元的厚度相等。

3.根据权利要求2所述的分体式工艺载板，其特征在于，

所述拼接结构还包括：多个石墨螺钉；

所述多个石墨螺钉间隔设置于相邻两所述石墨载板单元的上阶梯形连接边、下阶梯形连接边上。

4.根据权利要求3所述的分体式工艺载板，其特征在于，

叠加拼合后位于上层的所述上阶梯形连接边上设有沉头孔；

叠加拼合后位于下层的所述下阶梯形连接边上设有与所述沉头孔位置相对应的螺纹孔，各所述石墨螺钉分别穿过一组所述沉头孔、螺纹孔，将相邻两所述石墨载板单元相连接。

5.根据权利要求4所述的分体式工艺载板，其特征在于，

所述石墨载板单元共四个，所述各石墨载板单元相互拼接的中心位置的边角均为突出的90度直角的形状。

6.根据权利要求5所述的分体式工艺载板，其特征在于，

还包括石英框，所述石墨载板置于所述石英框的框内。

7.根据权利要求6所述的分体式工艺载板，其特征在于，

所述石英框包括方形边框和框底加强筋；

所述框底加强筋与所述方形边框为一体成形结构或为分体式结构。

8.根据权利要求7所述的分体式工艺载板，其特征在于，

所述方形边框的内沿设有框内台阶；

所述石墨载板放置于所述框内台阶上；

所述方形边框的沿所述石墨载板水平移动方向的两侧边框外沿分别设有与水平传输轮大小相匹配的缺口；

所述方形边框的两侧边框外沿的中间位置设有齿条结构；

所述齿条结构的宽度不小于所述缺口的宽度。

9.一种真空镀膜装置，其特征在于，包括：真空腔室和权利要求1-8任一项所述的分体式工艺载板；

所述真空腔室内设有多组水平传输轮和升降机构；

所述多组水平传输轮设置在所述真空腔室的两侧壁上；

所述升降机构固定设置在所述真空腔室的底部；

所述分体式工艺载板置于所述升降机构的顶部，并能够借助于所述升降机构在所述真空腔室内的垂直方向上位移。