[实用新型]一种水性蚀刻光阻剂用涂布机有效
申请号: | 201920155960.3 | 申请日: | 2019-01-29 |
公开(公告)号: | CN209433177U | 公开(公告)日: | 2019-09-24 |
发明(设计)人: | 钟水英;何伟富;何伟豪 | 申请(专利权)人: | 广州森川合成材料有限公司 |
主分类号: | G03F7/16 | 分类号: | G03F7/16 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 511400 广东省广州*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 输送带 涂布机 支撑板 滑槽 蚀刻 本实用新型 光阻涂布机 定位板 光阻剂 连接杆 滑杆 底座 穿过 对称开设 滑动连接 锁紧机构 滑槽槽 内固定 相向端 槽口 基板 延伸 保证 | ||
1.一种水性蚀刻光阻剂用涂布机,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)上安装有光阻涂布机(2)和输送带(3),所述输送带(3)穿过光阻涂布机(2)设置,所述输送带(3)内固定连接有支撑板(4),所述支撑板(4)的两侧对称开设有滑槽(5),所述滑槽(5)内滑动连接有滑杆(6),所述滑杆(6)远离滑槽(5)槽底的一端穿过滑槽(5)的槽口并向外延伸,且固定连接有“L”形的连接杆(7),两根所述连接杆(7)的相向端均固定连接有定位板(8),所述定位板(8)位于输送带(3)的上方,所述支撑板(4)的下方安装有锁紧机构。
2.根据权利要求1所述的一种水性蚀刻光阻剂用涂布机,其特征在于,所述锁紧机构包括两个对称开设在支撑板(4)下端两侧的螺纹孔,所述螺纹孔内螺纹连接有螺杆(9),所述螺杆(9)的下端穿过螺纹孔的孔口并向外延伸,所述螺纹孔的孔底开设有通孔,所述通孔贯穿滑槽(5)设置,所述通孔内滑动连接有定位杆(10),所述定位杆(10)的上端穿过通孔的孔口并向外延伸,且与滑杆(6)的杆壁相抵,所述定位杆(10)的下端固定连接在螺杆(9)的上端。
3.根据权利要求1所述的一种水性蚀刻光阻剂用涂布机,其特征在于,所述滑槽(5)上方的槽壁上开设有限位槽(11),所述限位槽(11)内滑动连接有限位块(12),所述限位块(12)远离限位槽(11)槽底的一端穿过限位槽(11)的槽口并向外延伸,且固定连接在滑杆(6)的对应杆壁上。
4.根据权利要求3所述的一种水性蚀刻光阻剂用涂布机,其特征在于,所述限位块(12)靠近限位槽(11)槽底的一端开设有滚珠槽(13),所述滚珠槽(13)内滚动连接有滚珠(14),所述滚珠(14)远离滚珠槽(13)槽底的一端穿过滚珠槽(13)的槽口并向外延伸,且与限位槽(11)的槽底滚动连接。
5.根据权利要求2所述的一种水性蚀刻光阻剂用涂布机,其特征在于,所述螺杆(9)的下端固定连接有转动把手(15)。
6.根据权利要求1所述的一种水性蚀刻光阻剂用涂布机,其特征在于,所述底座(1)的底部四角处均固定连接有支撑脚(16),所述滑杆(6)的杆壁上安装有刻度尺(17)。
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