[实用新型]一种通用键合设备上不同线径键合丝快速切换的组合夹具有效
| 申请号： | 201920167649.0 | 申请日： | 2019-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN209461421U | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 阳微 | 申请（专利权）人： | 成都西科微波通讯有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/60 |
| 代理公司： | 成都正华专利代理事务所(普通合伙) 51229 | 代理人： | 何凡;李蕊 |
| 地址： | 610091 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 组合夹具 键合丝 本实用新型 线径 固定底座 快速切换 通用键 中空状 产品生产效率 产品生产周期 键合设备 生产资源 导管 消耗 贯穿 应用 | ||
【权利要求书】：
1.一种通用键合设备上不同线径键合丝快速切换的组合夹具，其特征在于，所述组合夹具的内部呈中空状，且固定于所述键合设备上，其中，所述组合夹具包括固定底座(1)，以及贯穿于所述固定底座(1)且内部呈中空状的键合丝导管(2)。
2.根据权利要求1所述的通用键合设备上不同线径键合丝快速切换的组合夹具，其特征在于，所述键合丝导管(2)的总体长度为15mm，外径为1mm，内径为0.7mm。
3.根据权利要求2所述的通用键合设备上不同线径键合丝快速切换的组合夹具，其特征在于，所述键合丝导管(2)的两端端口均呈倒角型。
4.根据权利要求1所述的通用键合设备上不同线径键合丝快速切换的组合夹具，其特征在于，所述固定底座(1)呈矩形结构，其长度为6mm，宽度为3mm，厚度为2mm。
5.根据权利要求4所述的通用键合设备上不同线径键合丝快速切换的组合夹具，其特征在于，所述固定底座(1)内设有3个通孔(3)，所述通孔(3)的直径为1mm。
6.根据权利要求5所述的通用键合设备上不同线径键合丝快速切换的组合夹具，其特征在于，所述固定底座(1)采用聚四氟乙烯制成。
7.根据权利要求1所述的通用键合设备上不同线径键合丝快速切换的组合夹具，其特征在于，所述组合夹具与所述键合设备通过双组分胶粘接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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