[实用新型]一种能自动泄压的单晶炉炉盖有效
申请号: | 201920171808.4 | 申请日: | 2019-01-31 |
公开(公告)号: | CN209702911U | 公开(公告)日: | 2019-11-29 |
发明(设计)人: | 潘燕萍;朱海军 | 申请(专利权)人: | 常州市乐萌压力容器有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/06 |
代理公司: | 32294 常州市华信天成专利代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 何学成<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 213000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 炉盖 单晶炉 压力传感器 自动泄压 泄气 阀门 本实用新型 单晶炉设备 防火闸板 晶体生产 设备领域 生命安全 自动判别 电控柜 电连接 炉内 泄压 | ||
1.一种能自动泄压的单晶炉炉盖,具有炉盖基体(1),其特征在于,包括设置在炉盖基体(1)上的压力传感器(2)和泄气阀门(3),所述压力传感器(2)与泄气阀门(3)电控柜(4)电连接,所述炉盖基体(1)下方还设有防火闸板(5)。
2.根据权利要求1所述的一种能自动泄压的单晶炉炉盖,其特征在于:所述炉盖基体(1)顶部设有两窥视孔(6)。
3.根据权利要求1所述的一种能自动泄压的单晶炉炉盖,其特征在于:所述炉盖基体(1)上还设有一氩气口(7)。
4.根据权利要求1所述的一种能自动泄压的单晶炉炉盖,其特征在于:所述防火闸板(5)所用材料为石棉。
5.根据权利要求1所述的一种能自动泄压的单晶炉炉盖,其特征在于:所述电控柜(4)上设有警报灯(8)。
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