[实用新型]一种用于溅射靶材的加工设备

说明书

本实用新型涉及一种用于溅射靶材的加工设备，属于溅射靶材加工设备技术领域，解决了现有技术中采用人工的方法对备管表面进行喷砂的技术问题，包括底座、两个支撑板、两个驱动转轴、驱动机构、设置在两个驱动转轴之间的安装机构、喷砂机构，安装机构包括两个安装模具，安装模具包括用于安装备管的转动轴、设置在转动轴和驱动转轴之间的连接组件、套设在转动轴外周面的第一张紧弧板和第二张紧弧板、第一调节组件、第二调节组件，第一张紧弧板、第二张紧弧板的弯曲方向均指向转动轴。该用于溅射靶材的加工设备，增加了备管表面的粗糙度并形成溅射靶材，降低了操作人员的劳动强度，提高了产品的生产效率和质量，进而提高了加工设备的实用性。

技术领域

本实用新型涉及溅射靶材加工设备技术领域，特别涉及一种用于溅射靶材的加工设备。

背景技术

现有备管表面粗糙度的处理方法主要有机械磨消法和腐蚀法。机械磨消法是采用细砂轮或磨料对备管表面进行磨消，然后在进行表面清洗，加工出的备管表面粗糙度不均匀。腐蚀法是将备管在强酸中通过电解方法对表面进行腐蚀，其中腐蚀液中存在强酸、强碱等物质，不仅对环境造成较大的影响，而且容易造成操作人员的人生伤害，为了解决备管表面粗糙度处理的难题，部分操作人员尝试将沙粒喷涂在备管外表面并增加其表面的粗糙度，采用这种方式，不仅增加了操作人员的劳动强度，而且由于操作人员熟练度的不同，致使备管表面粗糙度不均匀，因此，不仅增加了操作人员的劳动强度，而且降低了产品的质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于溅射靶材的加工设备，将备管安装在安装机构上，喷砂机构将沙粒喷射到备管的外表面，从而增加了备管表面的粗糙度并形成溅射靶材，使溅射靶材的加工更方便，降低了操作人员的劳动强度，提高了产品的生产效率和质量，进而提高了加工设备的实用性。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种用于溅射靶材的加工设备，包括沿水平方向的底座、两个平行且间隔固设在底座顶面的支撑板、转动连接在支撑板上且与两个支撑板一一对应的两个驱动转轴、用于使驱动转轴转动的驱动机构、设置在两个驱动转轴之间且用于安装备管的安装机构、设置在两个支撑板之间且用于将沙粒喷射到备管外表面形成溅射靶材的喷砂机构，所述驱动转轴沿水平方向设置，两个所述驱动转轴的轴线重合，且两个所述驱动转轴沿其轴线方向间隔设置，所述安装机构包括两个用于安装备管且和两个驱动转轴一一对应的安装模具，所述安装模具包括用于安装备管且与驱动转轴的轴线重合的转动轴、设置在转动轴和驱动转轴之间且实现两者可拆卸连接的连接组件、套设在转动轴外周面且用于卡紧备管的第一张紧弧板和第二张紧弧板、设置在第一张紧弧板和转动轴之间且用于调节两者之间距离的第一调节组件、设置在第二张紧弧板和转动轴之间且用于调节两者之间距离的第二调节组件，所述第一张紧弧板的轴线、第二张紧弧板的轴线、转动轴的轴线平行，所述第一张紧弧板、第二张紧弧板的弯曲方向均指向转动轴。

通过采用上述技术方案，在对备管外表面进行喷砂用以增加其表面粗糙度时，将备管套设在两个安装模具的第一张紧弧板、第二张紧弧板的外周面上，第一张紧弧板的外曲面在第一调节组件的作用下和备管的内侧面相抵触，第二张紧弧板的外曲面在第二调节组件的作用下和备管的内侧面相抵触，从而将备管稳定的安装在转动轴上，并使备管和转动轴一起转动，此时，喷砂机构对备管表面进行喷砂，同时驱动转轴在驱动机构的作用下转动，驱动转轴带动转动轴转动，进而带动备管转动，从而实现备管外表面的喷砂，并形成溅射靶材，使溅射靶材的加工更方便，降低了操作人员的劳动强度，提高了产品的生产效率和质量，进而提高了加工设备的实用性。

本实用新型进一步设置为：所述第一张紧弧板、第二张紧弧板组合形成一个圆环。

通过采用上述技术方案，增加了第一张紧弧板、第二张紧弧板和备管内侧面的接触面积，提高了第一张紧弧板、第二张紧弧板和备管内侧面的摩擦力，降低了备管出现打滑的情况发生，提高了安装机构使用的稳定性。