[实用新型]真空电极

说明书

本实用新型公开了一种真空电极，包括第一外导体、第二外导体、内导体、陶瓷窗和法兰，所述第一外导体和第二外导体均有中心带有空心腔体的圆柱体结构，所述第二外导体的下端与第一外导体的上端套接并焊接固定形成整个外导体；所述陶瓷窗的中心设有空心腔体，其外周面焊接固定于所述第二外导体靠近所述第一外导体的一端的空心腔体内；所述内导体的上端置于第二外导体的空心腔体内，且下端依次从所述陶瓷窗的空心腔体内穿入至所述第一外导体的空心腔体内，且所述内导体的中部外侧面与所述陶瓷窗焊接固定；所述法兰焊接固定于所述第二外导体的上端面上。该真空电极能够达到超高真空要求，并且具有高导热、高导电、无磁性等特性。

技术领域

本实用新型涉及一种真空电极，尤其涉及一种高功率、高导热以及无磁性的真空电极。

背景技术

真空电极又叫做真空点馈通，真空穿通密封件。作为一种可以穿过真空腔壁，将大气端的各种电功率、电讯号等传输到真空室内部的密封装置，广泛应用于电真空器件。然而由于其超高的陶瓷封接技术要求，限制了其材料的应用，进而限制了其在一些有特殊要求器件上的应用。例如，普通的真空电极为了保证陶瓷封接的可靠性，大多采用可伐合金作为外导体与内导体。而实际中可伐合金含有铁、钴、镍等磁性元素，对有特殊要求无磁性的器件有一定的干扰性,而且其导热性能较差。采用其他合金，不容易保证封接的可靠性。常用的真空电极采用Al₂O₃陶瓷，其导热性能较差，对于大功率应用有所限制。

发明内容

为了克服上述缺陷，本实用新型提供了一种真空电极，不仅高功率、高导热，而且无磁性，大大拓宽了普通真空电极的应用范围。

本实用新型为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种真空电极，包括第一外导体、第二外导体、内导体、陶瓷窗和法兰，所述第一外导体和第二外导体均有中心带有空心腔体的圆柱体结构，所述第二外导体的下端与第一外导体的上端套接并焊接固定形成整个外导体；所述陶瓷窗的中心设有空心腔体，其外周面焊接固定于所述第二外导体靠近所述第一外导体的一端的空心腔体内；所述内导体的上端置于第二外导体的空心腔体内，且下端依次从所述陶瓷窗的空心腔体内穿入至所述第一外导体的空心腔体内，且所述内导体的中部外侧面与所述陶瓷窗焊接固定；所述法兰焊接固定于所述第二外导体的上端面上。

作为本实用新型的进一步改进，所述内导体的下端的半径小于其上端的半径，该内导体上端突出下端的部分形成台阶，该台阶与所述陶瓷窗的上端面配合连接并焊接固定。

作为本实用新型的进一步改进，所述台阶上设有焊接垫片。

作为本实用新型的进一步改进，所述第一外导体为不锈钢材质制成，具有较好的耐磨性；所述第二外导体为无氧铜制成，具有高导热的特性。

作为本实用新型的进一步改进，所述内导体为铍青铜制成，为真空电极提供真空部分电子导体。

作为本实用新型的进一步改进，所述焊接垫片为无氧铜材料制成，作为附着零件使用。

作为本实用新型的进一步改进，所述陶瓷窗为氧化铝陶瓷制成，至少包括95瓷、99瓷和蓝宝石其中之一，能够有效隔绝真空电极的真空导电和设备金属外壳的短路。

作为本实用新型的进一步改进，所述第一外导体和第二外导体之间，陶瓷窗和第二外导体之间，陶瓷窗与内导体之间，以及法兰和第二外导体之间通过钎焊一次进炉焊接固定。

本实用新型的有益效果是：该真空电极能够达到超高真空要求，并且具有高导热、高导电、无磁性等特性。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为图1剖面结构示意图；

图3为本实用新型整个外导体结构示意图；

图4为本实用新型内导体结构示意图。