[实用新型]MEMS操纵装置

权利要求书

1.一种MEMS操纵装置，其特征在于，包括：

基板；

操纵结构，在所述基板上，并且所述操纵结构包括由结构层形成的本体、在所述结构层上的支撑层、以及在所述支撑层上的薄膜压电层，所述操纵结构包括：

第一操纵臂；以及

第一夹持元件，所述第一夹持元件由所述第一操纵臂承载；

其中，所述第一操纵臂包括第一驱动臂和第一铰接臂，所述第一驱动臂和所述第一铰接臂均具有相应的第一端部和第二端部，所述第一驱动臂的所述第一端部被连接至所述基板，并且所述第一驱动臂的所述第二端部通过第一铰接结构被铰接至所述第一铰接臂的所述第一端部；

其中，所述第一驱动臂包括第一梁元件和第一压电区域，所述第一梁元件由所述支撑层形成，所述第一压电区域由所述薄膜压电层形成，并且所述第一压电区域与所述第一梁元件相关联，所述第一梁元件具有在延伸平面中延伸的主延伸、以及在与所述延伸平面垂直的厚度平面中延伸的厚度，所述第一梁元件在所述厚度平面中的所述厚度小于所述主延伸在所述延伸平面中的延伸，所述第一驱动臂的所述第一端部和所述第二端部包括所述支撑层的部分和所述结构层的部分；以及

其中，所述第一铰接结构包括第一连接元件和第一铰链结构，所述第一铰链结构被插入在所述第一驱动臂、所述第一铰接臂和所述第一连接元件之间。

2.根据权利要求1所述的MEMS操纵装置，其特征在于，所述第一连接元件和所述第一铰接臂由所述结构层形成，并且具有大于所述第一梁元件的所述厚度的厚度。

3.根据权利要求1所述的MEMS操纵装置，其特征在于，所述第一连接元件具有与所述第一梁元件相邻、并且被锚固至所述基板的壁。

4.根据权利要求1所述的MEMS操纵装置，其特征在于，所述第一铰链结构包括：

第一铰链元件，所述第一铰链元件被布置在所述第一驱动臂的所述第二端部和所述第一铰接臂的所述第一端部之间；以及

第二铰链元件，所述第二铰链元件被布置在所述第一铰接臂的所述第一端部和所述第一连接元件之间；

其中，所述第一铰链元件和所述第二铰链元件具有在所述厚度平面中的比所述第一梁元件的所述厚度大的相应厚度、以及在所述延伸平面中的比所述第一驱动臂和所述第一铰接臂的宽度小的宽度。

5.根据权利要求1所述的MEMS操纵装置，其特征在于，所述第一铰接结构被布置在所述第一梁元件的第一侧上，所述第一铰接臂横向于所述第一驱动臂延伸，所述第一夹持元件被布置在所述第一梁元件的第二侧上，并且所述第一铰接臂的所述第一端部具有沿着所述第一梁元件的所述第一侧延伸、并且被联接至所述第一铰接结构的成角度的部分。

6.根据权利要求1所述的MEMS操纵装置，其特征在于，所述第一铰接结构面向所述第一驱动臂的所述第二端部的前表面，并且所述第一铰接臂横向于所述第一驱动臂延伸。

7.根据权利要求1所述的MEMS操纵装置，其特征在于，所述第一铰接结构被布置在所述第一梁元件的一侧上，并且所述第一铰接臂从所述第一驱动臂的所述第二端部、横向于所述第一驱动臂延伸。

8.根据权利要求1所述的MEMS操纵装置，其特征在于，进一步包括：

第二操纵臂；以及

第二夹持元件，所述第二夹持元件由所述第二操纵臂承载、并且面向所述第一夹持元件；

其中，所述第二夹持元件被连接至所述基板、并且面向所述第一夹持元件。