[实用新型]一种还原炉尾气处理系统

说明书

本实用新型公开一种还原炉尾气处理系统，包括设置在还原炉尾气出口的过滤装置，所述过滤装置依次连接有尾气冷却器、氢气预热器、硅粉过滤器和硅粉收集器，本申请所述的还原炉尾气处理系统可以先对还原炉尾气中的无定型硅粉过滤后逐级利用余热后再过滤还原工段尾气中残余的硅粉，可以最大程度利用尾气的余热，同时保证尾气中的无定型硅粉尽量少的沉积在管道和设备中，延长设备清洗检修周期，减少系统能耗。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产过程中还原工段尾气处理领域，特别涉及一种还原炉尾气处理系统。

背景技术

目前，国内外生产多晶硅的主要工艺技术是“西门子改良法”，高纯三氯氢硅与氢气按一定比例混合后，在还原炉内沉积形成多晶硅。还原工艺的反应温度在1080- 1100摄氏度左右，还原炉工段中产生的尾气夹带了大量的热量和无定型硅粉。

在常规的工艺生产过程中，尾气通过循环利用对原料进行预热，但是在对尾气进行循环利用使，大量的无定型硅粉会进入管道和热交换器中，造成管道堵塞。传统还原炉的尾气处理方式为了充分利用尾气余热，将尾气先经过冷却盘管冷却后，在进尾气回收之前经过尾气过滤器将尾气中含有的无定型硅粉过滤下来，过滤后的尾气进入回收系统处理。

但是，还原炉尾气在尾气冷却盘管与后续管道的输送过程中，如果温度太低会导致无定型硅粉在盘管与管线的管壁沉积，时间久了会导致盘管冷却效果下降，增加系统能耗。

实用新型内容

有鉴于此，本申请提供一种还原炉尾气处理系统，先对还原炉尾气中的无定型硅粉过滤后逐级利用余热后再过滤还原工段尾气中残余的硅粉，可以最大程度利用尾气的余热，同时保证尾气中的无定型硅粉尽量少的沉积在管道和设备中，延长设备清洗检修周期，减少系统能耗。

为解决以上技术问题，本实用新型提供的技术方案是有鉴于此，本申请提供一种还原炉尾气处理系统，包括设置在还原炉尾气出口的过滤装置，所述过滤装置依次连接有尾气冷却器、氢气预热器、硅粉过滤器和硅粉收集器。

优选的，包括位于内层的金属滤网和套装在金属滤网外围的金属管，所述金属滤网的顶部设置有开口，所述开口与还原炉尾气出口联通，所述金属滤网的开口设置有一圈向外翻折的固定边，固定边可以安装固定在还原炉内，使金属滤网穿过还原炉尾气出口。

优选的，所述金属管的上端截面面积大于下端截面面积。

优选的，所述尾气冷却器的第一管程连接所述过滤装置，所述尾气冷却器的第一壳程用于通入热交换介质。

优选的，所述尾气冷却器的第一壳程分割有若干个腔体，所述腔体连接有一电控切换阀，所述尾气冷却器的第一管程的出口处设置有第一温度检测装置，所述第一温度检测装置连接所述电控切换阀，所述温度检测装置用于检测尾气冷却器的第一管程的出口处的尾气温度控制电控切换阀，调整壳程内参与热交换的腔体数量调整换热效率。

优选的，所述氢气预热器的第二管程连接所述尾气冷却器的第一管程，所述氢气预热器的第二壳程用于通入氢气。

优选的，所述氢气预热器的第二管程的出口设置有第二温度检测装置，所述氢气预热器的第二壳程的入口处设置有流量控制装置，所述第二温度检测装置电连接所述流量控制装置，用于根据第二管程的出口处的尾气温度调节氢气的流量。

优选的，所述硅粉过滤器内沿竖直方向分布有多个滤芯，所述滤芯为陶瓷滤芯或氮化硅滤芯。

优选的，所述硅粉过滤器和所述硅粉收集器之间的管道上设置有一缓冲腔，所述缓冲腔的截面面积大于所述管道的截面面积。

本申请与现有技术相比，其详细说明如下：