[实用新型]一种提高芯棒沉积同心度用的调节装置有效
| 申请号： | 201920191845.1 | 申请日： | 2019-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN209508026U | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 陈威;李楠;孙亚军 | 申请（专利权）人： | 杭州永通智造科技有限公司 |
| 主分类号： | C03B37/014 | 分类号： | C03B37/014 |
| 代理公司： | 杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙) 33260 | 代理人： | 龚玉平 |
| 地址： | 311400 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 引杆 同心度 石英 种棒 旋转轴套 固定环 上塔 下端 沉积 机头 本实用新型 调节装置 螺钉 下塔架 矫直 镍头 芯棒 拆装方便 滑动安装 机头结构 配合安装 跳动现象 可微调 可转动 上端卡 上端 喷灯 塔架 支架 穿过 | ||
1.一种提高芯棒沉积同心度用的调节装置，包括上塔架(1)、下塔架(2)、机头(3)、引杆(4)、镍头(5)，所述机头(3)滑动安装在上塔架(1)上，上塔架(1)安装在下塔架(2)上方，其特征在于：所述下塔架(2)上安装有矫直喷灯(21)和矫直支架(22)，所述机头(3)配合安装有可转动的旋转轴套(7)，旋转轴套(7)内部设有固定环(6)，固定环(6)的上、下端均设有调节引杆安装同心度的若干第一调节螺钉(8)，所述引杆(4)上端卡装在固定环(6)上端，引杆(4)下端穿过旋转轴套(7)后与镍头(5)上端相连，所述镍头(5)下端连接有石英种棒(9)，镍头(5)上安装有调节石英种棒安装同心度的若干第二调节螺钉(52)。
2.如权利要求1所述的一种提高芯棒沉积同心度用的调节装置，其特征在于：所述引杆(4)上端水平穿设有第一悬挂销钉(41)，第一悬挂销钉(41)卡在固定环(6)上端。
3.如权利要求1所述的一种提高芯棒沉积同心度用的调节装置，其特征在于：所述旋转轴套(7)外侧和机头(3)之间安装有若干滚动轴承(31)，旋转轴套(7)外侧套设有旋转同步带轮(71)。
4.如权利要求1所述的一种提高芯棒沉积同心度用的调节装置，其特征在于：所述石英种棒(9)上端插入镍头(5)下端内并用第二悬挂销钉(51)相连。
5.如权利要求1所述的一种提高芯棒沉积同心度用的调节装置，其特征在于：所述矫直喷灯(21)位于石英种棒(9)的侧面，所述石英种棒(9)下端配合安装在矫直支架(22)上。
6.如权利要求1所述的一种提高芯棒沉积同心度用的调节装置，其特征在于：所述上塔架(1)上靠近机头(3)的一侧设有供机头(3)上下滑动用的滑轨(11)。
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