[实用新型]一种介质波导滤波器

说明书

本实用新型涉及一种介质波导滤波器，包括介质波导谐振腔，所述介质波导谐振腔的上表面设有轴向的盲孔或通孔，所述盲孔的内壁或所述通孔的内壁相对介质波导谐振腔的轴向倾斜，且盲孔的内径或通孔的内径朝靠近介质波导谐振腔上表面的方向逐渐增大。本实用新型在向盲孔或通孔内通过溅射工艺覆盖金属层例如银层时，盲孔的内壁和盲孔的底部或通孔的内壁均能被垂直溅射的离子束照射到，从而都能被覆盖到金属层，从而使得盲孔或通孔能够完全金属化，不会造成介质波导谐振腔部分面积暴露在外面，不会造成电磁能量的泄露。

【技术领域】

本实用新型涉及射频通信技术领域，尤其是涉及一种介质波导滤波器。

【背景技术】

滤波器是一种二端口的频率选择器件，在通信技术领域有着关键的作用。介质波导滤波器以电介质作为波导腔的填充材料，相比于传统的同轴腔体滤波器，介质波导滤波器具有损耗小、温漂小、Q值高、体积小等优点。出于设计与工艺的需要，现存的介质波导滤波器的腔体需要设置若干数量的内表面需要覆盖银等良导电金属层的通孔或盲孔，而现在的工艺主要有电镀和溅射两种，电镀工艺形成的金属层附着力差，这样导致插损大、Q值低等缺点。溅射工艺使用形成的金属层附着力高，使用溅射工艺生产的腔体具有插损小、Q值高等优点，然而由于溅射的工艺特点，对于内侧面垂直于腔体表面的通孔或盲孔，难以在其内侧面形成金属层，使通孔或盲孔不能完全金属化，造成腔体的介质有部分面积暴露在外，从而造成电磁能量的泄漏。

因此，针对介质波导滤波器生产中的溅射工艺，亟需一种改进的方案。

【实用新型内容】

本实用新型的目的在于克服上述技术的不足，提供一种介质波导滤波器，针对介质波导滤波器生产中的溅射工艺，可使通孔或盲孔完全覆盖到金属层，不会造成介质波导谐振腔部分面积暴露在外面，不会造成电磁能量的泄露。

本实用新型提供的一种介质波导滤波器，包括介质波导谐振腔，所述介质波导谐振腔的上表面设有轴向的盲孔或通孔，所述盲孔的内壁或所述通孔的内壁相对介质波导谐振腔的轴向倾斜，盲孔的内径或通孔的内径朝靠近介质波导谐振腔上表面的方向逐渐增大。

进一步地，所述介质波导谐振腔的上表面设有轴向的盲孔，所述盲孔的开口处设有第一倒圆角。

进一步地，所述盲孔的底部和盲孔的内壁之间设有第二倒圆角。

进一步地，所述盲孔或通孔的横截面形状为圆形、方形或十字形。

进一步地，所述盲孔或通孔的纵截面形状为倒梯形。

进一步地，所述介质波导谐振腔至少为两个，所述至少两个介质波导谐振腔顺次连接。

进一步地，相邻的两个介质波导谐振腔的连接处的两侧分别设有轴向的第一耦合窗口、第二耦合窗口，所述第一耦合窗口和第二耦合窗口的内壁分别相对介质波导谐振腔的轴向倾斜，第一耦合窗口的内径、第二耦合窗口的内径朝靠近介质波导谐振腔上表面的方向逐渐增大。

进一步地，所述第一耦合窗口的内壁的倾斜方向和第二耦合窗口的内壁的倾斜方向相反。

进一步地，所述第一耦合窗口和第二耦合窗口的横截面形状都为方形。

进一步地，所述第一耦合窗口和第二耦合窗口的纵截面形状都为倒梯形。

本实用新型通过设置盲孔的内壁或通孔的内壁相对介质波导谐振腔的轴向倾斜，且盲孔的内径或通孔的内径朝靠近介质波导谐振腔上表面的方向逐渐增大，在向盲孔或通孔内通过溅射工艺覆盖金属层例如银层时，盲孔的内壁和盲孔的底部或通孔的内壁均能被垂直溅射的离子束照射到，从而都能被覆盖到金属层，从而使得盲孔或通孔能够完全金属化，不会造成介质波导谐振腔部分面积暴露在外面，不会造成电磁能量的泄露。

【附图说明】

图1为本实用新型第一实施例提供的一种介质波导滤波器的纵截面示意图；